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通常用于金屬層蝕刻的銅酸蝕刻溶液主要成分為過(guò)氧化氫和一些添加劑；過(guò)氧化氫用于對(duì)金屬進(jìn)行氧化，而添加劑則主要將氧化物酸化成離子態(tài)，使其溶解于溶液中，并且維持蝕刻特性要求。由于過(guò)氧化氫同時(shí)具有氧化性和還原性，其可以將銅氧化，也可以被金屬離子催化發(fā)生歧化分解反應(yīng)，生成氧氣。如果此反應(yīng)速度過(guò)快，則會(huì)生熱乃至引起等安全事故。與此同時(shí)，二價(jià)銅離子也具有一定的氧化性，當(dāng)蝕刻時(shí)間較長(zhǎng)，所述銅酸蝕刻溶液體系內(nèi)的銅離子含量較高時(shí)，溶液的蝕刻特性會(huì)發(fā)生變化，以至于蝕刻達(dá)不到要求，所述銅酸蝕刻溶液不能夠再進(jìn)行蝕刻，即達(dá)到蝕刻壽命。基于以上兩個(gè)方面，過(guò)氧化氫體系的銅酸蝕刻溶液壽命較低，一般為當(dāng)銅酸溶液中銅離子的濃度達(dá)到4000-8000百萬(wàn)分比濃度，則不能再使用。哪家的BOE蝕刻液的價(jià)格低？

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