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來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-10-12

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Buffered Oxide Etch,BOE就是buffer oxide etch, B.O.E 緩沖蝕刻液 BOE是HF與NH4F依不同比例混合而成。6:1 BOE蝕刻即表示49%HF水溶液:40%NH4F水溶液=1:6(體積比)的成分混合而成??涛g速度約10nm每秒。HF為主要的蝕刻液,NH4F則作為緩沖劑使用。利用NH4F固定〔H+〕的濃度,使之保持一定的蝕刻率。HF會(huì)浸蝕玻璃及任何含硅石的物質(zhì),對(duì)皮膚有強(qiáng)烈的腐蝕性,不小心被濺到,應(yīng)用大量水沖洗。

BOE(Buffered Oxide Etch),緩沖氧化物刻蝕液。由氫氟酸(49%)與水或氟化銨與水混合而成。 BOE蝕刻液蝕刻后的樣貌形態(tài)。

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