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池州市面上哪家減薄用清洗劑供應(yīng)

來源: 發(fā)布時(shí)間:2024-04-01

    故所述控制器在從所述輔助厚度測量儀接收的玻璃厚度超出目標(biāo)厚度的公差范圍時(shí),可再次控制所述玻璃加工治具4回到所述蝕刻區(qū)3,并且控制玻璃在所述蝕刻區(qū)3中再次經(jīng)歷減薄處理,以將玻璃處理為目標(biāo)厚度。同時(shí)通過所述輔助厚度測量儀提前測量待經(jīng)歷減薄處理的玻璃厚度,可與所述主厚度測量儀32檢測的初始厚度作對(duì)比,可判斷所述主厚度測量儀32是否失靈,從而在后期根據(jù)所述輔助厚度測量儀的檢測數(shù)據(jù)判斷是否需再次進(jìn)入所述腔室31。具體的,當(dāng)所述輔助厚度測量儀檢測厚度與所述主厚度測量儀32檢測的初始檢測厚度不在公差范圍之內(nèi),可判斷所述主厚度測量儀32失靈;在當(dāng)后期減薄后所述輔助厚度測量儀的檢測厚度不符合目標(biāo)厚度時(shí),可判斷所述主厚度測量儀32非暫時(shí)失靈,所述控制器警報(bào)提醒并不再將所述玻璃加工治具4回撤至所述腔室31內(nèi),而將所述玻璃加工治具4從所述刻蝕區(qū)撤出,并等待所述主厚度測量儀32的維修完成。實(shí)施例七采用本發(fā)明所述玻璃減薄生產(chǎn)線的具體工藝流程為:s1,將豎直容納玻璃的所述玻璃加工治具4放置在所述轉(zhuǎn)換區(qū)1內(nèi),經(jīng)所述沖洗區(qū)2減薄前清洗后轉(zhuǎn)移至所述蝕刻區(qū)3,所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3中經(jīng)歷減薄處理;具體的,在所述蝕刻區(qū)3中進(jìn)行減薄處理期間。減薄清洗劑,采用獨(dú)特工藝,輕松去除頑固涂層。池州市面上哪家減薄用清洗劑供應(yīng)

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    經(jīng)減薄處理后的玻璃可再次進(jìn)入所述沖洗區(qū)2以經(jīng)歷減薄后清潔并且通過所述轉(zhuǎn)換區(qū)1被卸載到外部;所述玻璃減薄設(shè)備還設(shè)置有制動(dòng)組件,通過所述制動(dòng)組件實(shí)現(xiàn)所述玻璃加工治具4從所述轉(zhuǎn)換區(qū)1經(jīng)所述沖洗區(qū)2向所述蝕刻區(qū)3的減薄前移動(dòng),以及從所述蝕刻區(qū)3經(jīng)所述沖洗區(qū)2向所述轉(zhuǎn)換區(qū)1的減薄后移動(dòng)。在本實(shí)施例中,圖1內(nèi)并排設(shè)置有2個(gè)所述玻璃減薄設(shè)備,所述沖洗區(qū)2包括沖洗區(qū)2、第二沖洗區(qū)2和第三沖洗區(qū)2,所述第二沖洗區(qū)2設(shè)置于所述沖洗區(qū)2和所述第三沖洗區(qū)2之間,所述沖洗區(qū)2設(shè)置于所述第二沖洗區(qū)2和所述轉(zhuǎn)換區(qū)1之間,所述第三沖洗區(qū)2設(shè)置于所述第二沖洗區(qū)2和所述蝕刻區(qū)3之間。所述轉(zhuǎn)換區(qū)1可升降的折疊式結(jié)構(gòu),從而便于所述玻璃加工治具4在所述轉(zhuǎn)換區(qū)1的放置或卸下。較佳的,所述轉(zhuǎn)換區(qū)1還設(shè)置有裝卸臂,通過所述裝卸臂可實(shí)現(xiàn)對(duì)所述玻璃加工治具4的上下料,以及單片玻璃的拿取檢測。實(shí)施例二如圖2所示,圖2為所述蝕刻區(qū)的結(jié)構(gòu)示意圖;所述蝕刻區(qū)3包括腔室31、主厚度測量儀32、噴淋組件33和控制器;所述噴淋組件33在所述腔室31中對(duì)設(shè)置于所述玻璃加工治具4上的玻璃施加減薄處理,所述主厚度測量儀32實(shí)時(shí)測量在所述腔室31內(nèi)經(jīng)歷減薄處理的玻璃厚度。嘉興哪里減薄用清洗劑生產(chǎn)減薄用清洗劑的適用人群有哪些?

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    圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種拋光減薄裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種托盤和待加工部件的鍵合固定方式示意圖;圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種磁轉(zhuǎn)子的結(jié)構(gòu)示意圖;圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供一種磁轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方式的示意圖;圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖。具體實(shí)施方式以上是本發(fā)明的思想,為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂,下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒景l(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。本發(fā)明實(shí)施例提供了一種拋光減薄裝置,用于對(duì)inp基晶圓等部件進(jìn)行拋光減薄,如圖1所示,包括托盤10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12,當(dāng)然,本發(fā)明實(shí)施例中的拋光減薄裝置還包括反應(yīng)室13等,托盤10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12等在反應(yīng)室13內(nèi)進(jìn)行拋光和減薄反應(yīng)。其中,托盤10,可選為石英托盤,用于固定待加工部件20,待加工部件20包括inp基晶圓。噴頭11用于向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,以對(duì)待加工表面進(jìn)行拋光。

    產(chǎn)生不良次品;同時(shí)由于所述側(cè)支撐件44的移動(dòng),可帶動(dòng)玻璃在所述玻璃加工治具4上的擺動(dòng),從而實(shí)現(xiàn)玻璃與噴淋液的充分均勻接觸。較佳的,所述底座41和實(shí)施支撐架42上均設(shè)置有若干流通孔,所述流通孔便于所述玻璃加工治具4上的所述噴淋液流至所述收集槽內(nèi)。實(shí)施例四所述支撐架42包括對(duì)應(yīng)設(shè)置的架體和第二架體,所述架體和所述第二架體均固定設(shè)置在所述底座41上,所述架體包括平行對(duì)應(yīng)設(shè)置的兩豎直平板421,所述第二架體為與所述豎直平板421連接的對(duì)應(yīng)兩側(cè)板422,所述架體和所述第二架體形成盛放部,玻璃設(shè)置在所述盛放部內(nèi);所述側(cè)板422和所述豎直平板421可均固定設(shè)置于所述底座41上,也可相互固定連接形成穩(wěn)定的矩形框架。所述架體和所述第二架體均設(shè)置有若干所述側(cè)支撐件44,且所述側(cè)支撐件44對(duì)應(yīng)所述底支撐件43設(shè)置。較佳的,所述架體上固定設(shè)置有若干固定孔,所述側(cè)支撐件44可根據(jù)玻璃的具體尺寸在相應(yīng)所述固定孔上固定設(shè)置;所述第二架體上設(shè)置有調(diào)節(jié)槽,對(duì)應(yīng)所述調(diào)節(jié)槽還設(shè)置有固定板423,所述固定板423的兩端分別設(shè)置在對(duì)應(yīng)兩所述側(cè)板422的所述調(diào)節(jié)槽上,并可在所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)調(diào)節(jié)移動(dòng),從而可使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃放置。一般的。選擇專業(yè)減薄用清洗劑,為您的產(chǎn)品質(zhì)量保駕護(hù)航。

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    本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:一種拋光減薄裝置,包括:托盤,用于固定待加工部件,所述待加工部件包括inp基晶圓;噴頭,用于向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,以對(duì)所述待加工表面進(jìn)行拋光;磁轉(zhuǎn)子,放置在所述待加工部件的待加工表面上,用于通過旋轉(zhuǎn)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨,對(duì)所述待加工表面進(jìn)行減薄??蛇x地,還包括控制部件;所述控制部件與所述磁轉(zhuǎn)子和所述噴頭相連,用于控制所述噴頭和所述磁轉(zhuǎn)子交替工作,以對(duì)所述待加工表面交替進(jìn)行拋光和減薄。可選地,所述磁轉(zhuǎn)子包括截面為半圓形的柱狀磁性結(jié)構(gòu)和位于所述磁性結(jié)構(gòu)底部的研磨層,以通過所述研磨層對(duì)所述待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨??蛇x地,所述研磨層為金屬氧化物層,所述金屬氧化物層包括三氧化二鋁層。可選地,還包括:熱板,設(shè)置于所述托盤底部,用于對(duì)所述托盤進(jìn)行加熱,以使所述待加工部件與所述托盤鍵合固定??蛇x地,所述待加工部件與所述托盤通過光刻膠鍵合固定。一種拋光減薄方法,包括:將待加工部件固定在托盤上,所述待加工部件包括inp基晶圓;通過噴頭向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,來對(duì)所述待加工表面進(jìn)行拋光;通過磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨。口碑好的減薄用清洗劑的公司聯(lián)系方式。南通哪家公司減薄用清洗劑產(chǎn)品介紹

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    可有效穩(wěn)定所述固定板423的豎直放置位置。同時(shí),值得指出的時(shí),所述豎直平板421上所述側(cè)支撐件44的固定方式也可采用板加槽的方式,具體的,所述豎直平板421上設(shè)置有若干豎槽,所述豎槽單側(cè)豎直有若干定槽,對(duì)應(yīng)所述定槽設(shè)置有帶有固定塊的安裝板,所述安裝板對(duì)應(yīng)所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有至少2個(gè)所述固定塊,所述安裝板遠(yuǎn)離所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有所述側(cè)支撐件44,通過將所述固定塊分別設(shè)置于所述定槽內(nèi),從而實(shí)現(xiàn)所述側(cè)支撐件44在所述豎直平板421上的固定。通過所述豎直平板421和所述側(cè)板422上的所述側(cè)支撐件44的設(shè)置,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)所述玻璃加工治具4上玻璃的側(cè)邊位置固定,同時(shí),通過所述側(cè)板422上所述調(diào)節(jié)槽的設(shè)置,可實(shí)現(xiàn)所述側(cè)板422上所述側(cè)支撐件44的位置調(diào)節(jié),從而使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃,并可根據(jù)具體玻璃尺寸同時(shí)放置不同尺寸的玻璃進(jìn)行減薄處理。實(shí)施例五一般的,對(duì)于實(shí)施例四中的所述玻璃加工治具4結(jié)構(gòu),可通過調(diào)節(jié)所述底支撐件43位置使所述底支撐件43適用于不同尺寸的玻璃。如圖7、圖8所示,圖7為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)正視圖;圖8為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖;所述底支撐件43包括支撐條431、第二支撐條432、連接部433和接觸部434。池州市面上哪家減薄用清洗劑供應(yīng)

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