íatendráunapendientehaciaeldepósitotalquepermitalaevacuacióndeposiblescondensadosycomomínimoéstaseráádisponerdeunaválvuladecierrequeseabrirádeformaautomáticacuandolapresiónseasuperiora50mbaroelvacíósitosdealmacenamientodegasolinatendránundispositivoquepermitarecogerenelcamióncisternalosvaporesdesplazadosduranteelllenadodeestosdepóíadeaspiracióíadeaspiracióntendráundiámetromínimodeunapulgadaymediayestaráprovistadeválvuladeretencióásbajodelaaspiraciónestarásituadoalmenosa15centímetrosporencimadelfondodeldepóíatendrápendientecontinuamínimadel1por100haciaeldepósito,nopermitiéáadmisiblelautilizacióndeelementosflexibles,enlasconexionesentretuberíaytubería。BOE蝕刻液就來(lái)蘇州博洋化學(xué)股份有限公司。江蘇哪些新型BOE蝕刻液商家

    該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為丙二醇丁醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p，添加量分別為總質(zhì)量的％、％。實(shí)施例2本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制，先稱取濃度為85％的磷酸，然后稱取添加劑加入磷酸中，該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為三乙二醇乙醚、月桂酰氨乙基硫酸鈉，添加量分別為總質(zhì)量的％、％。實(shí)施例3本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制，先稱取濃度為85％的磷酸，然后稱取添加劑加入磷酸中，該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為三甘醇單丁醚、月桂酰氨乙基硫酸鈉，添加量分別為總質(zhì)量的％、％。實(shí)施例4本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制，先稱取濃度為85％的磷酸，然后稱取添加劑加入磷酸中，該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為二乙二醇單甲醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p，添加量分別為總質(zhì)量的％、％。實(shí)施例5本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制，先稱取濃度為85％的磷酸，然后稱取添加劑加入磷酸中，該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。湖北技術(shù)密集BOE蝕刻液商家蘇州博洋化學(xué)股份有限公司專業(yè)生產(chǎn)BOE蝕刻液。

    這是除去固體顆粒、電子流、水、或者或多或少具有極性的油脂污染的要求。在精細(xì)清洗中，經(jīng)常存在裝有凹槽、肋條或盲孔的非常復(fù)雜的部件，必須用溶劑對(duì)其進(jìn)行潤(rùn)濕，以使溶劑在這些難洗位置發(fā)揮作用。氟化溶劑來(lái)自提供表面的可能性的潤(rùn)濕的溶劑類型，其中，所述表面的可能性的潤(rùn)濕以非常低的表面張力表示(例如，相對(duì)于，HCFC141b為)。高潤(rùn)濕的另一優(yōu)點(diǎn)是得到基底的較快干燥。在幾乎相同的分子量下，氟化溶劑具有較低的沸點(diǎn)和較高的蒸氣壓。因此，HCFC141b在32°C下沸騰而氯仿在61°C下沸騰。這兩種性質(zhì)(低沸點(diǎn)和高蒸氣壓)有利于這些溶劑在利用蒸氣相操作的常規(guī)工業(yè)機(jī)器中的應(yīng)用，使得能夠進(jìn)行部件的漂洗和干燥，而且使得被連續(xù)蒸餾的溶劑能夠再生。這些機(jī)器裝有用于通過(guò)冷凝而使蒸氣在盤管上冷卻的大功率(heavy-duty)系統(tǒng)，這些機(jī)器的操作方法使得所用高蒸氣壓的缺點(diǎn)小化。工業(yè)家們期望可用于他們的現(xiàn)有機(jī)器存貨的替代解決方案。此外，氫氟烴地用于制冷和傳熱過(guò)程。本發(fā)明提供具有低GWP且具有可生物降解的優(yōu)點(diǎn)的組合物。根據(jù)本發(fā)明的組合物含甲基四氫呋喃和至少一種式C4F90R的九氟丁基烷基醚，其中R具有14個(gè)碳原子的線型或支化的飽和烷基鏈。有利地。

    neutroyconductordeproteccióónentreloselementosdelsurtidor(emisordeimpulsos,solenoides,calculador,etc.),seconsiderasuficientelautilizacióndecableconcubiertaexteriordePVC/policloroprenoresistentealoshidrocarburos,detiponoarmadoyaquealserIP-23comomínimoelgradodeprotecciónmecánicadelsurtidor,encondicionesnormalesdeoperación,noesposibleejerceraccionesmecánicasquepuedanda?ánicos,talescomolaseventualesvibracionesgeneradasporlosequiposrotativosdelsurtidor,sondespreciables,ávibracióánsintensióááneas,cuandoseutilicencablesarmados,serealizaránenzanjasrellenasdearenaoentubosríéreasocuandoseutilicencablesnoarmados,sinprotecciónmecánica,seharáánsinsoldadura,galvanizadointerioryexterior,elroscadodelosmismosdeberácumplirlasexigenciasrelativasaltipodeejecucióátilesomóvilesseráncontubosmetálicosflexibles,corrugados,protegidosexteriormentecontralaoxidacióáncumplirlascondicionesdeltipodeconstruccióncorrespondientesasuejecucióóndeunacanalizacióneléctricadeunazonaaotra。BOE蝕刻液，專業(yè)配方，穩(wěn)定可靠，值得信賴。

    本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液，通過(guò)在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑，來(lái)改善磷酸的浸潤(rùn)性和表面張力，使之均勻蝕刻氮化硅。背景技術(shù)：氮化硅是一種具有很高的化學(xué)穩(wěn)定性的絕緣材料，氫氟酸和熱磷酸能對(duì)氮化硅進(jìn)行緩慢地腐蝕。在半導(dǎo)體制造工藝中，一般是采用熱磷酸對(duì)氮化硅進(jìn)行蝕刻，一直到了90nm的制程也是采用熱磷酸來(lái)蝕刻氮化硅。但隨著半導(dǎo)體制程的飛速發(fā)展，器件的特征尺寸越來(lái)越小，集成度越來(lái)越高，對(duì)制造工藝中的各工藝節(jié)點(diǎn)要求也越來(lái)越高，如蝕刻工藝中對(duì)蝕刻后晶圓表面的均勻性、蝕刻殘留、下層薄膜的選擇性等都有要求。在使用熱磷酸對(duì)氮化硅進(jìn)行蝕刻時(shí)，晶圓表面會(huì)出現(xiàn)不均勻的現(xiàn)象，體現(xiàn)于在蝕刻前后進(jìn)行相同位置取點(diǎn)的厚度測(cè)量時(shí)，檢測(cè)點(diǎn)之間蝕刻前后的厚度差值存在明顯差異。為了解決氮化硅蝕刻不均勻的問(wèn)題，通過(guò)在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑可以實(shí)現(xiàn)氮化硅層的均勻蝕刻。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種能均勻蝕刻氮化硅層的蝕刻液。本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液，所述蝕刻液的組成包括：占蝕刻液總重量≥88％的磷酸、％的醇醚類、％的表面活性劑。進(jìn)一步地，本發(fā)明涉及上述蝕刻液。BOE蝕刻液公司的聯(lián)系方式。福建介紹BOE蝕刻液圖片

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    除去75重量％的油。在45°C下的簡(jiǎn)單加熱、或者在環(huán)境溫度(20°C)下的簡(jiǎn)單攪拌或超聲應(yīng)用可以除去所有的沉積油。此外，沒(méi)有觀察到油的溶解，而是觀察到上升到液體表面的油的脫離(卷起機(jī)理(rollingupmechanism)).與快速導(dǎo)致溶劑飽和的溶解機(jī)理相比，該卷起機(jī)理更為有利。油溶解試驗(yàn)的總體過(guò)程將硅油(得自CromptonCorporation(Greenwich,USA)的CromptonL9000—1000)引入到100ml待評(píng)價(jià)組合物中，并測(cè)定在環(huán)境溫度下立即溶解的硅油的量(其以所溶解的油相對(duì)于該混合物的百分?jǐn)?shù)表示)。實(shí)施例5在使用％的九氟丁基乙基醚和％的甲基四氫呋喃的共沸組合物的情況下，溶解超過(guò)17重量％的油。實(shí)施例6在使用九氟丁基乙基醚的情況下，多溶解2重量％的油并且觀察到反混合(demixing)。權(quán)利要求組合物，其包含甲基四氫呋喃和至少一種式C4F9OR的九氟丁基烷基醚，在式C4F9OR中，R具有1～4個(gè)碳原子的線型或支化的飽和烷基鏈。2.權(quán)利要求1的組合物，特征在于，所述組合物包含540重量％的甲基四氫呋喃和6095重量％的式C4F90R的九氟丁基烷基醚。3.權(quán)利要求1或2的組合物，特征在于，所述式C4F90R的九氟丁基烷基醚是九氟丁基甲基醚和九氟丁基乙基醚。4.權(quán)利要求13中任一項(xiàng)的組合物，特征在于。江蘇哪些新型BOE蝕刻液商家