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上海工業(yè)級(jí)BOE蝕刻液圖片

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-05-16

    本實(shí)用新型屬于廢液處理領(lǐng)域,尤其涉及一種酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)。背景技術(shù):酸性蝕刻液是用于印制電路板線路制作和多層板內(nèi)層制作的蝕刻液,隨著電路板行業(yè)的迅速發(fā)展,產(chǎn)生的廢液量越來越大,發(fā)掘的污染物種類也越來越多,對環(huán)境造成巨大的危害,此類問題也成為社會(huì)的重要課題。為了減少甚至杜絕此類污染的發(fā)生,我們需要對酸性蝕刻液進(jìn)行回收循環(huán)利用。目前對于酸性蝕刻廢液的再生利用大多采用化學(xué)或電化學(xué)的方法,但傳統(tǒng)的方法廢液中總銅的含量不斷增大,比重增加,必須排掉一部分廢液或者補(bǔ)加子液和水來控制參數(shù),這樣污染大,影響環(huán)境,而且還會(huì)造成銅和酸的浪費(fèi)。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題為如何通過簡單、低成本的技術(shù)實(shí)現(xiàn)種酸性蝕刻液電解后廢液的再生利用。為解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的,一種酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng),包括:電解槽,具有一出液口和出氣口,且內(nèi)置有酸性蝕刻液,用于對所述酸性蝕刻液進(jìn)行電解提銅,產(chǎn)生氯氣,得到電解后液;再生液調(diào)配缸,具有進(jìn)液口和循環(huán)出液口,所述進(jìn)液口通過管道與所述電解槽的出液口連接以接收電解后液;射流器,其進(jìn)氣口通過導(dǎo)氣管與所述電解槽的出氣口連接以接收所述氯氣。BOE蝕刻液如何配置,歡迎咨詢。上海工業(yè)級(jí)BOE蝕刻液圖片

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    gradodelafuentedeescapeeinfluenciadelaventilación)laextensióndecadazonapeligrosaobedeceráalossiguientescriteriosyconsideraciones:)Isletasdereposamientoodistribucióóndeservicioquepuedenconsiderarsecomodeficientementeventiladosdebidoalaenvolventemetáácomozona1porqueenélunaatmósferadegasexplosivaseprevépuedaestarpresentedeunaformaperiódicauocasionalmenteduranteelfuncionamientonormalyademásnotieneunabuenaventilacióósferaexplosivanoestápresenteenfuncionamientonormalysiloestáserádeformapocofrecuenteydecortaduración,oaundándoselascondicionesanteriores,elgradodeventilaciónesóóndecadazonaanteriormenteindicadapuedelimitarsemediantelautilizaciónde?barrerasdevapor?queimpidanelpasodegases,vaporesolíóndelossurtidoresydeladisposicióndeloscabezaleselectrónicoslasbarrerasseclasificanendostipos:1.oBarrerasdevaportipo1.。福建應(yīng)用BOE蝕刻液批量定制BOE 蝕刻液(Buffered Oxide Etch)是一種在微加工和半導(dǎo)體制造過程中常用的蝕刻溶液。

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    所述的磷酸濃度為82-87%。進(jìn)一步地,本發(fā)明涉及上述蝕刻液,醇醚類的含量為%。進(jìn)一步地,本發(fā)明涉及上述蝕刻液,表面活性劑的含量為%。進(jìn)一步地,本發(fā)明涉及上述蝕刻液,所述的醇醚類為選自二乙二醇單甲醚、丙二醇丁醚、二丙二醇甲醚、二乙二醇丁醚、三乙二醇乙醚、三丙二醇單甲醚、三甘醇單丁醚等中的至少一種;表面活性劑為選自脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、壬基酚聚氧乙烯醚np-10、聚乙二醇硬脂酸酯egms、烷基酚聚氧乙烯醚硫酸鈉、月桂酰氨乙基硫酸鈉、醇醚羧酸鹽等中的至少一種。進(jìn)一步地,在使用本發(fā)明的蝕刻液進(jìn)行氮化硅層蝕刻時(shí),蝕刻溫度為152-165℃,蝕刻時(shí)間為5-60min。通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑,改善了磷酸的浸潤性和表面張力,明顯提高了蝕刻液對氮化硅層的潤濕和蝕刻均勻性。為了便于驗(yàn)證氮化硅薄膜層的蝕刻均勻性,本發(fā)明使用淀積了氮化硅薄膜的晶圓樣片(初始厚度約為)。蝕刻液配制完成后,先使用表面張力儀檢測該蝕刻液的表面張力;然后將氮化硅晶圓片切割成1cm*3cm的小樣片,采用超純水清洗和氮?dú)獯蹈珊螅褂媒佑|角測量儀檢測蝕刻液對氮化硅層的接觸角大小。在蝕刻前,使用橢圓偏振光譜儀對氮化硅樣片取不同位置共6個(gè)點(diǎn)進(jìn)行厚度的測量。

    形成氣液混合體,從擴(kuò)散管22排出又進(jìn)入到再生液調(diào)配缸3。電解再生某線路板生產(chǎn)線蝕刻廢液,蝕刻廢液量1000m3/d,相比沒有使用本實(shí)用新型所提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng),能耗節(jié)約40%,節(jié)約使用藥品100kg/d,經(jīng)濟(jì)效益提高30%。作為本實(shí)施例的一個(gè)示例,電解槽1的陽極可選用石墨電極,陰極可選用鈦或鈦合金板狀電極,電解槽1中陰極與陽極之間的距離為55mm,電解槽1的電流密度為300a/m2。與實(shí)施例相結(jié)合,圖2示出了本實(shí)用新型第二實(shí)施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu),在實(shí)施例的基礎(chǔ)上,第二實(shí)施例進(jìn)一步包括曝氣裝置5,曝氣裝置5通過管道深入到再生液調(diào)配缸3的液體中,用于向再生液調(diào)配缸3中的電解后液輸送氣體以進(jìn)行攪拌,以提高整個(gè)系統(tǒng)的工作效率。進(jìn)一步地,與上述、第二實(shí)施例相結(jié)合,酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)還可以包括一后續(xù)處理系統(tǒng),用于向經(jīng)過再生液調(diào)配缸3處理過的電解后液中加入氯化鈉、鹽酸并攪拌均勻,然后再打入到子液桶,實(shí)現(xiàn)再生液循環(huán)利用。以上所述為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已,并不用以限制本實(shí)用新型,凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。什么制程中需要使用BOE蝕刻液。

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    所述九氟丁基烷基醚主要由九氟正丁基烷基醚和九氟異丁基烷基醚組成。5.權(quán)利要求14中任一項(xiàng)的組合物,特征在于,所述組合物是共沸的或共沸型的。6.權(quán)利要求5的組合物,特征在于,所述組合物包含515重量%的甲基四氫呋喃和8595重量%的九氟丁基甲基醚。7.共沸組合物,其包含8重量%的甲基四氫呋喃和92重量%的九氟丁基甲基醚,并且在大氣壓()下具有°C的沸點(diǎn)。8.權(quán)利要求5的組合物,特征在于,所述組合物包含1040重量%的甲基四氫呋喃和6090重量%的九氟丁基乙基醚。9.共沸組合物,其包含%的甲基四氫呋喃和%的九氟丁基乙基醚,并且在大氣壓()下具有°C的沸點(diǎn)。10.制冷劑,特征在于,其包含前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)的組合物。11.溶劑,特征在于,其包含權(quán)利要求19中任一項(xiàng)的組合物。全文摘要本發(fā)明涉及含有全氟丁基醚的共沸或共沸型混合物或組合物。更具體地說,本發(fā)明涉及含有至少一種九氟丁基烷基醚和可生物降解化合物的組合物,該組合物可用作溶劑或制冷劑。BOE蝕刻液的發(fā)展趨勢如何。江蘇介紹BOE蝕刻液銷售公司

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    segúáuncertificadodefabricaciónconcadadepósitoenelquesejustifiqueelcumplimientodelosensayosdefinidosenlanormadefabricacióncorrespondiente,según,óón(brida,valonaybridaloca,rosca,etc.)atubosdellenado,ventilación,aspiración,etcéán:1.o.oSobrelageneratrizsuperiordelosdepóósitoestaráprovistodelassiguientestubuladuras:a))Unaovariastubuladurasdeventilació)Unaovariastubuladurasdeaspiració))ááobturadaherméóónempleado(anillasuorejetas,zunchos)deberásoportarunafuerzade,almenos,dosveceselpesodeldepósitoenvacíósitoposeevariosdispositivosdeelevación,elesfuerzodeberáándise?adosdetalmaneraquenotransmitanesfuerzosanómalosalasvirolasdelaenvolventecilíósitosdecapacidadsuperioratresmetroscúbicostendránboca/áundiámetromínimode500milíácomomínimounadimensiónde450milímetrosy550milímetroscorrespondientesasusejesdesimetríúnpuntodeldepósitoamásdecincometrosdeunabocadehombre:portanto,seprevéndosparalosdepósitosdemásde10metrosdelongitud。上海工業(yè)級(jí)BOE蝕刻液圖片

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