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江西BOE蝕刻液主要作用

來源: 發(fā)布時間:2025-05-29

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    本實用新型屬于廢液處理領域,尤其涉及一種酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)。背景技術:酸性蝕刻液是用于印制電路板線路制作和多層板內(nèi)層制作的蝕刻液,隨著電路板行業(yè)的迅速發(fā)展,產(chǎn)生的廢液量越來越大,發(fā)掘的污染物種類也越來越多,對環(huán)境造成巨大的危害,此類問題也成為社會的重要課題。為了減少甚至杜絕此類污染的發(fā)生,我們需要對酸性蝕刻液進行回收循環(huán)利用。目前對于酸性蝕刻廢液的再生利用大多采用化學或電化學的方法,但傳統(tǒng)的方法廢液中總銅的含量不斷增大,比重增加,必須排掉一部分廢液或者補加子液和水來控制參數(shù),這樣污染大,影響環(huán)境,而且還會造成銅和酸的浪費。技術實現(xiàn)要素:本實用新型所要解決的技術問題為如何通過簡單、低成本的技術實現(xiàn)種酸性蝕刻液電解后廢液的再生利用。為解決上述技術問題,本實用新型是這樣實現(xiàn)的,一種酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng),包括:電解槽,具有一出液口和出氣口,且內(nèi)置有酸性蝕刻液,用于對所述酸性蝕刻液進行電解提銅,產(chǎn)生氯氣,得到電解后液;再生液調(diào)配缸,具有進液口和循環(huán)出液口,所述進液口通過管道與所述電解槽的出液口連接以接收電解后液;射流器,其進氣口通過導氣管與所述電解槽的出氣口連接以接收所述氯氣。浙江專業(yè)BOE蝕刻液商家友達光電用的哪家的BOE蝕刻液?

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    所述的磷酸濃度為82-87%。進一步地,本發(fā)明涉及上述蝕刻液,醇醚類的含量為%。進一步地,本發(fā)明涉及上述蝕刻液,表面活性劑的含量為%。進一步地,本發(fā)明涉及上述蝕刻液,所述的醇醚類為選自二乙二醇單甲醚、丙二醇丁醚、二丙二醇甲醚、二乙二醇丁醚、三乙二醇乙醚、三丙二醇單甲醚、三甘醇單丁醚等中的至少一種;表面活性劑為選自脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、壬基酚聚氧乙烯醚np-10、聚乙二醇硬脂酸酯egms、烷基酚聚氧乙烯醚硫酸鈉、月桂酰氨乙基硫酸鈉、醇醚羧酸鹽等中的至少一種。進一步地,在使用本發(fā)明的蝕刻液進行氮化硅層蝕刻時,蝕刻溫度為152-165℃,蝕刻時間為5-60min。通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑,改善了磷酸的浸潤性和表面張力,明顯提高了蝕刻液對氮化硅層的潤濕和蝕刻均勻性。為了便于驗證氮化硅薄膜層的蝕刻均勻性,本發(fā)明使用淀積了氮化硅薄膜的晶圓樣片(初始厚度約為)。蝕刻液配制完成后,先使用表面張力儀檢測該蝕刻液的表面張力;然后將氮化硅晶圓片切割成1cm*3cm的小樣片,采用超純水清洗和氮氣吹干后,使用接觸角測量儀檢測蝕刻液對氮化硅層的接觸角大小。在蝕刻前,使用橢圓偏振光譜儀對氮化硅樣片取不同位置共6個點進行厚度的測量。

    所述九氟丁基烷基醚主要由九氟正丁基烷基醚和九氟異丁基烷基醚組成。5.權利要求14中任一項的組合物,特征在于,所述組合物是共沸的或共沸型的。6.權利要求5的組合物,特征在于,所述組合物包含515重量%的甲基四氫呋喃和8595重量%的九氟丁基甲基醚。7.共沸組合物,其包含8重量%的甲基四氫呋喃和92重量%的九氟丁基甲基醚,并且在大氣壓()下具有°C的沸點。8.權利要求5的組合物,特征在于,所述組合物包含1040重量%的甲基四氫呋喃和6090重量%的九氟丁基乙基醚。9.共沸組合物,其包含%的甲基四氫呋喃和%的九氟丁基乙基醚,并且在大氣壓()下具有°C的沸點。10.制冷劑,特征在于,其包含前述權利要求中任一項的組合物。11.溶劑,特征在于,其包含權利要求19中任一項的組合物。全文摘要本發(fā)明涉及含有全氟丁基醚的共沸或共沸型混合物或組合物。更具體地說,本發(fā)明涉及含有至少一種九氟丁基烷基醚和可生物降解化合物的組合物,該組合物可用作溶劑或制冷劑。來蘇州,來博洋,BOE蝕刻液專業(yè)廠商。

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