WeofferBOELCDscreen,DisplayscreenWearefreeforyouProvideLCDscreenSample,WearefreeforyouDesignLCDscreenControlboardSampleHVA10QUX-100HVA10QUX-101HV975SUC-200HV650QUS-300DV650QUM-AN0HV550QUS-300HV550WUP-200HV550WUS-200HV550WUC-200HV550WU2-202HV550QU2-301HV550WU2-200HV550WU2-370HV550QU2-305HV550FHC-701HV550FHC-700HV550QUB-B10HV550WU2-302HV490QU2-305HV490QUB-B05HV490FHB-N80HV480WU2-300HV480WU2-301HV480WU2-302HV480FH2-600HV460WUS-200HV460WUP-200HV460WUC-200HV460WU2-202HV460WU2-600HV460WU2-200HV460FH2-601HV430FHB-N40HV365WX2-200HV365WX2-202HV365WXC-200HV365WX2-205HV320WXC-100HV320WXC-200HV320WX2-101HV320WX2-201HV320WXC-300HV320WX2-506HV320WX2-202HV320WXC-201XSV31513HV320WXC-211HV320WX2-600HV320WX2-200BOEV320WX1HV320WX2-261HV320WXC-202HV320WX2-206HV320WX2-205HV320WX2-262HV320WX2-281HV320WX2-500HV320FHB-N00HV320WHB-N00HV320WHB-N06HV320WHB-N10HV320WHB-N80HV320FHB-N10DV280FBM-NB0HV280WX2-270HV280WX2-260HV280WX2-280HR270WU3-300HR270WU1-100HR270QH1-100HV260WX1-100HT260WXC-100HT260WXC-200HT260WX1-。使用BOE蝕刻液，提升生產(chǎn)效率，降低成本。上海電子級(jí)BOE蝕刻液廠家現(xiàn)貨

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    本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液，通過(guò)在磷酸中添加醇醚類(lèi)和表面活性劑，來(lái)改善磷酸的浸潤(rùn)性和表面張力，使之均勻蝕刻氮化硅。背景技術(shù)：氮化硅是一種具有很高的化學(xué)穩(wěn)定性的絕緣材料，氫氟酸和熱磷酸能對(duì)氮化硅進(jìn)行緩慢地腐蝕。在半導(dǎo)體制造工藝中，一般是采用熱磷酸對(duì)氮化硅進(jìn)行蝕刻，一直到了90nm的制程也是采用熱磷酸來(lái)蝕刻氮化硅。但隨著半導(dǎo)體制程的飛速發(fā)展，器件的特征尺寸越來(lái)越小，集成度越來(lái)越高，對(duì)制造工藝中的各工藝節(jié)點(diǎn)要求也越來(lái)越高，如蝕刻工藝中對(duì)蝕刻后晶圓表面的均勻性、蝕刻殘留、下層薄膜的選擇性等都有要求。在使用熱磷酸對(duì)氮化硅進(jìn)行蝕刻時(shí)，晶圓表面會(huì)出現(xiàn)不均勻的現(xiàn)象，體現(xiàn)于在蝕刻前后進(jìn)行相同位置取點(diǎn)的厚度測(cè)量時(shí)，檢測(cè)點(diǎn)之間蝕刻前后的厚度差值存在明顯差異。為了解決氮化硅蝕刻不均勻的問(wèn)題，通過(guò)在磷酸中添加醇醚類(lèi)和表面活性劑可以實(shí)現(xiàn)氮化硅層的均勻蝕刻。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種能均勻蝕刻氮化硅層的蝕刻液。本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液，所述蝕刻液的組成包括：占蝕刻液總重量≥88％的磷酸、％的醇醚類(lèi)、％的表面活性劑。進(jìn)一步地，本發(fā)明涉及上述蝕刻液。

    JUANMANUELEGUIAGARAYUCELAYANEXO1InstrucciónTécnicaComplementariaMI-IP04INSTALACIONESFIJASPARADISTRIBUCIóNALPORMENORDECARBURANTESYCOMBUSTIBLESPETROLíFEROSENINSTALACIONESDEVENTAALPúBLICOCAPITULOIIntroduccióónTécnicatieneporobjetoestablecerlasprescripcionestécnicasalasquehandeajustarselasinstalacionesfijasparadistribuciónalpormenordecarburantesycombustiblespetrolíferoseninstalacionesdeventaalpúóónTécnicaComplementariaseaplicaráalasnuevasinstalacionesfijasparalaventaalpúblicodecarburantesycombustiblespetrolíferos,quesedefinenacontinuaciónasí(ES):Seentiendeporestacióndeservicioaquellainstalacióndestinadaalaventaalpúblicodegasolinas,gasóleosylubricantesquedistribuyatresomásproductosdiferentesdegasolinasygasóleosdeautomoción,deberádisponerdelosaparatosnecesariosparaelsuministrodeaguayaire,ubicadosdentrodelrecintodelainstalació(US):Seentiendeporunidadesdesuministroaquellainstalacióndeventaalpúblicodegasolinas。專(zhuān)業(yè)BOE蝕刻液由蘇州博洋化學(xué)股份有限公司提供。

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