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來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-06-10

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    所述的磷酸濃度為82-87%。進(jìn)一步地,本發(fā)明涉及上述蝕刻液,醇醚類的含量為%。進(jìn)一步地,本發(fā)明涉及上述蝕刻液,表面活性劑的含量為%。進(jìn)一步地,本發(fā)明涉及上述蝕刻液,所述的醇醚類為選自二乙二醇單甲醚、丙二醇丁醚、二丙二醇甲醚、二乙二醇丁醚、三乙二醇乙醚、三丙二醇單甲醚、三甘醇單丁醚等中的至少一種;表面活性劑為選自脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、壬基酚聚氧乙烯醚np-10、聚乙二醇硬脂酸酯egms、烷基酚聚氧乙烯醚硫酸鈉、月桂酰氨乙基硫酸鈉、醇醚羧酸鹽等中的至少一種。進(jìn)一步地,在使用本發(fā)明的蝕刻液進(jìn)行氮化硅層蝕刻時(shí),蝕刻溫度為152-165℃,蝕刻時(shí)間為5-60min。通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑,改善了磷酸的浸潤(rùn)性和表面張力,明顯提高了蝕刻液對(duì)氮化硅層的潤(rùn)濕和蝕刻均勻性。為了便于驗(yàn)證氮化硅薄膜層的蝕刻均勻性,本發(fā)明使用淀積了氮化硅薄膜的晶圓樣片(初始厚度約為)。蝕刻液配制完成后,先使用表面張力儀檢測(cè)該蝕刻液的表面張力;然后將氮化硅晶圓片切割成1cm*3cm的小樣片,采用超純水清洗和氮?dú)獯蹈珊?,使用接觸角測(cè)量?jī)x檢測(cè)蝕刻液對(duì)氮化硅層的接觸角大小。在蝕刻前,使用橢圓偏振光譜儀對(duì)氮化硅樣片取不同位置共6個(gè)點(diǎn)進(jìn)行厚度的測(cè)量。

    添加劑為二乙二醇單甲醚、三乙二醇乙醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,添加量分別為%、%、%。實(shí)施例6本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制,先稱取濃度為85%的磷酸,然后稱取添加劑加入磷酸中,該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為丙二醇丁醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、月桂酰氨乙基硫酸鈉,添加量分別為總質(zhì)量的%、%、%。對(duì)照例對(duì)照例中所含成分顯示于表1,并采用與實(shí)施例相同的方法進(jìn)行處理。對(duì)照例1為純磷酸,總質(zhì)量為400g。對(duì)照例2為磷酸、丙二醇丁醚,其中丙二醇丁醚的添加量為總質(zhì)量的%。對(duì)照例3為磷酸、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,其中脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p的添加量為總質(zhì)量的%。結(jié)果如表2所示,與對(duì)照例蝕刻液相比,實(shí)施例蝕刻液有更低的表面張力和接觸角,并且氮化硅層蝕刻后顯示出良好的均勻性。表1表2顯然,上述實(shí)施例和對(duì)照例是為了清楚地說明所作的實(shí)例,而并非對(duì)實(shí)施方式的限制。對(duì)于所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員來說,在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動(dòng),這里無需也無法對(duì)所有的實(shí)施方式予以窮舉。而因此所引申的顯而易見的變化或變動(dòng)仍處于本發(fā)明創(chuàng)造的保護(hù)范圍之內(nèi)。BOE蝕刻液歡迎咨詢蘇州博洋化學(xué)股份。

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    名稱:含有全氟丁基醚的組合物的制作方法含有全氟丁基醚的組合物本發(fā)明涉及共沸或共沸型的全氟丁基醚混合物或組合物。更具體地說,本發(fā)明的一個(gè)主題是包含至少一種九氟丁基烷基醚和可生物降解化合物的組合物。地球大氣阻擋了來自于地球的IR發(fā)射,這是導(dǎo)致溫室效應(yīng)和有利于生命的適度溫度的原因。在大氣中,主要是二氧化碳0)2導(dǎo)致這種自然界的溫室效應(yīng)。人類排放的某些氣體(包括來自化石燃料的co2)增強(qiáng)了該效應(yīng),導(dǎo)致全球變暖及其對(duì)于氣候的影響暴風(fēng)雨、洪水、浮冰表面積的變化和冰)I丨消退。京都議定書(1997)的目標(biāo)是相對(duì)于1990年(基準(zhǔn)年),在20082012年的承諾期間內(nèi),使6種溫室氣體(C02、CH4、N20、HFC、PFC、SF6)的全球排放減少5%。給定產(chǎn)物的溫室效應(yīng)通過其GWP(全球變暖潛勢(shì))量化,所述GWP不僅考慮了分子對(duì)輻射吸收的固有作用而且還考慮了分子在大氣中的壽命(或者等同于相同的特征,如在給定時(shí)期(通常為1個(gè)世紀(jì))內(nèi)的該分子的濃度)。所述GWP相對(duì)于作為參比氣體的C02全A屮圣口田O氟化溶劑長(zhǎng)期用于高技術(shù)工業(yè)(例如電子、航空、精密機(jī)械或醫(yī)藥部門)。在這些領(lǐng)域中,目標(biāo)總是相同的,即獲得非常高清潔度的表面。河南無機(jī)BOE蝕刻液商家

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