該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為丙二醇丁醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p，添加量分別為總質(zhì)量的％、％。實(shí)施例2本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制，先稱取濃度為85％的磷酸，然后稱取添加劑加入磷酸中，該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為三乙二醇乙醚、月桂酰氨乙基硫酸鈉，添加量分別為總質(zhì)量的％、％。實(shí)施例3本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制，先稱取濃度為85％的磷酸，然后稱取添加劑加入磷酸中，該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為三甘醇單丁醚、月桂酰氨乙基硫酸鈉，添加量分別為總質(zhì)量的％、％。實(shí)施例4本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制，先稱取濃度為85％的磷酸，然后稱取添加劑加入磷酸中，該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為二乙二醇單甲醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p，添加量分別為總質(zhì)量的％、％。實(shí)施例5本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制，先稱取濃度為85％的磷酸，然后稱取添加劑加入磷酸中，該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。蘇州博洋化學(xué)股份有限公司使命必達(dá)。湖南應(yīng)用BOE蝕刻液主要作用

    然后將裝有蝕刻液的石英燒瓶放入加熱套中加熱，待加熱到確定溫度后，放入氮化硅樣片進(jìn)行蝕刻；蝕刻完后，取出樣片采用熱超純水清洗和氮?dú)獯蹈珊?，使用橢圓偏振光譜儀對(duì)蝕刻前所取位置的6個(gè)點(diǎn)的厚度進(jìn)行測(cè)量，計(jì)算蝕刻前后6個(gè)取點(diǎn)的厚度差值，對(duì)比6個(gè)點(diǎn)之間的厚度差值的差異。與現(xiàn)有的使用磷酸作為蝕刻液相比，本發(fā)明的有益效果是：醇醚類和表面活性劑的添加能明顯改善磷酸溶液的浸潤(rùn)性和降低磷酸溶液的表面張力，有效提高了蝕刻液對(duì)氮化硅層的潤(rùn)濕性和蝕刻均勻性。具體實(shí)施方式下面結(jié)合具體實(shí)施例，進(jìn)一步闡述本發(fā)明，對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明，但不限于這些實(shí)施例。本發(fā)明的蝕刻液配制時(shí)選擇的磷酸濃度為85％，蝕刻溫度為160℃，蝕刻時(shí)間為10min。先對(duì)所配制蝕刻液的表面張力進(jìn)行檢測(cè)，然后將氮化硅樣片使用超純水清洗和氮?dú)獯蹈珊?，進(jìn)行接觸角的測(cè)量；蝕刻前使用超純水清洗和氮?dú)獯蹈傻铇悠?，在氮化硅樣片上?個(gè)不同位置的點(diǎn)對(duì)其厚度進(jìn)行測(cè)量；蝕刻完成后使用熱超純水清洗和氮?dú)獯蹈傻铇悠?，取與蝕刻前相同位置的6個(gè)點(diǎn)進(jìn)行厚度測(cè)量。實(shí)施例1本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制，先稱取濃度為85％的磷酸，然后稱取添加劑加入磷酸中。福建哪些新型BOE蝕刻液供應(yīng)博洋化學(xué)BOE蝕刻液的專業(yè)供應(yīng)商。

    yteniendoencuentalaviscosidaddellíquidoalatemperaturamííasyaccesoriosseajustaráncomomínimo,alasespecificacionesdelasnormasUNE19-040,dematerial,segúnDIN1629,íasseconectanatubuladurassituadasenlabocadehombre,estaránconexionadasdeformaquesudesmontajepermitaliberarcompletamenteelaccesodelabocadehombreyquepuedallevarseacabosintenerquedesempotrarlostubosdelamamposteríapróíaenterrada,encamisadaoforrada,bajoelsuelo,debetenerunapendientecontinuaalmenosdel1por100demaneraqueningunaretencióndelíáándematerialesqueresistanalacorrosión;laestopadaseráherméálacontinuidadeléctricadelastuberías,sinofueseasí,sepuentearáíasysusaccesoriosseuniránmediantesoldaduraatopeporarcoeléctricoyserealizaráétodoempleadoylapreparacióndelosbordesdebenpermitirconseguirunasoldadurasanaentodalajunta,asíóápidosabiertos,unomachoyotrohembra,ypormediodeéstas,sepuedenrealizartransferenciasdeproductospetrolíferoslíándeltipodeenchuferápido。

    queseencuentrenentrámitedeautorizaciónenlafechadeentradaenvigordelpresenteRealDecreto,seguiránrigiéánacogersealasprescripcionesestablecidasenlaInstrucciónTécnicaComplementaria,desdeelmomentodesupublicaciónenel?BoletínOficialdelEstado?.Disposicióónalpormenordecarburantesycombustiblespetrolíferoseninstalacionesdeventaalpúblico,existentesalaentradaenvigordelaanexaITC,sesometeránalasinspeccionesypruebasperiódicasindicadasenelcapíósitosinstaladosconanterioridadalafechadeentradaenvigordelpresenteRealDecreto,dispondrándelossiguientesplazospararealizarlaspruebasestablecidasenelcapítuloVdelaanexaITC:1.oLosconstruidosantesde1963:dosa?.oLosconstruidosentre1963y1968:cuatroa?.oLosconstruidosentre1968y1973:seisa?.oLosconstruidosentre1973y1978:ochoa?os5.oLosconstruidosentre1978yfechadeentradaenvigor:dieza?üedaddelosdepósitosseráladefabricaciónolafechadelaúltimapruebarealizadaalosdepósitosencondicionessimilaresalasindicadasenelcapíónderogatoriaúnicadelRealDecr。蘇州BOE蝕刻液的價(jià)格。

    其擴(kuò)散管深入到所述再生液調(diào)配缸中；液體泵，其一端通過(guò)管道連接所述再生液調(diào)配缸的循環(huán)出液口，另一端通過(guò)管道連接所述射流器的進(jìn)液口，用于將所述再生液調(diào)配缸中的電解后液通過(guò)所述管道抽取至所述射流器的進(jìn)液口。進(jìn)一步地，所述酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)還包括：曝氣裝置，用于向所述再生液調(diào)配缸中的電解后液輸送氣體以進(jìn)行攪拌。進(jìn)一步地，所述酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)還包括：后續(xù)處理系統(tǒng)，用于向經(jīng)過(guò)所述再生液調(diào)配缸處理過(guò)的電解后液中加入氯化鈉、鹽酸并攪拌均勻。更進(jìn)一步地，所述電解槽的陽(yáng)極為石墨電極，陰極為鈦或鈦合金板狀電極。更進(jìn)一步地，所述電解槽中陰極與陽(yáng)極之間的距離為55mm。更進(jìn)一步地，所述電解槽的電流密度為300a/m2。本實(shí)用新型所提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)通過(guò)簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了電解后廢液的再生利用，可節(jié)約能耗和藥品，提高經(jīng)濟(jì)效益。附圖說(shuō)明圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖；圖2是本實(shí)用新型第二實(shí)施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖。具體實(shí)施方式為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解。請(qǐng)認(rèn)準(zhǔn)蘇州博洋化學(xué)股份有限公司。河南了解BOE蝕刻液聯(lián)系方式

BOE蝕刻液適用于什么半導(dǎo)體什么制程；湖南應(yīng)用BOE蝕刻液主要作用

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