干式真空泵的種類特征

螺桿式：利用螺桿型Rotor進行排氣輸送的容積移送式干式真空泵。

羅茨式：在3片式Rotor和Casing之間的空間運送氣體的容積移送式干式真空泵。

爪式：復數的爪型Rotor以軸平行排列，進行相互逆回轉來移送氣體的干式真空泵。

渦旋式：利用渦旋型的Stage及Rotor的運動組合來進行排氣的真空泵。

隔膜式：藉由利用氣缸內的隔膜的來回運動來進行排氣的容積移送式真空泵。

活塞式：利用氣缸內的活塞的來回運動來進行排氣壓縮以及排氣的容積移送式真空泵。 干式真空泵的系列有：多級羅茨干式真空泵、渦旋干式真空泵、螺桿干式真空泵、爪式干式真空泵等。無錫SDE1220干式真空泵代理商

KASHIYAMA防腐蝕干式真空泵SDE603TX設備簡介（包括對功能的基本介紹）

       SDE603TX 立式螺桿真空干泵,尺寸： W:400×H:905×L:760ＭＭ，MAX排氣速度10000L/min，立式螺桿設計排氣線路短，不容易發(fā)生卡死。轉子材質為鎳合金，防腐蝕能力優(yōu)越,使用時內部溫度高，適用于比較苛刻的工藝制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。

系統(tǒng)組成：

1) 羅茨泵  (SDE120TX) 1  

2) 機械增壓泵(KMB603) 1  

3) 電源盒  1  

4) 操作手柄1  

5) 連接件  1  

6) 消音器(SR-19) 1

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干式螺桿真空泵選型

       干式螺桿真空泵在其工作壓力下，應能排走真空泵設備工藝過程中產生的全部氣體量。

每種泵都有一定的工作壓力范圍，因而，泵的工作點應該選擇在這個范圍之內，而不能讓它在允許工作壓力以外長時間工作。

       干式螺桿真空泵的極限壓力應該滿足該工藝的工作壓力。通常選擇泵的極限壓力低于工藝要求約一個數量級。

選擇真空機組：

       了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸汽，有無顆粒灰塵、有無腐蝕性等。選擇干式螺桿真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸汽、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。

       干式螺桿真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響，若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

日本KASHIYAMASDE200干式真空泵技術參數&配置清單

一、技術參數：

二、 配置清單：

設備原產地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、設備運轉時，旋葉與旋葉、旋葉與腔壁之間沒有任何摩擦，保證設備長期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷卻水，從而節(jié)省空間。3、采用氣鎮(zhèn)（GasBallast）結構，可以排出所吸取的水蒸氣。4、若只抽取空氣與氮氣的情況下，只需三年維護一次，延長了設備的使用壽命，降低真空泵的使用成本。
買日本樫山工業(yè)干式真空泵選擇浚和（上海）儀器有限公司。

日本KASHIYAMA SDE1203X干式真空泵 技術參數&配置清單

一、 技術參數：

式樣：SDE1203X

MAX排氣速度（L/min）：20000

達到壓力（Pa）：0.5

電源電壓：3相  AC200-220V，380-480V

消費電力（KW）：2.0KW

外型尺寸WHL [mm]：400×905×900

二、 配置清單：

設備原產地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：

1、設備運轉時，旋葉與旋葉、旋葉與腔壁之間沒有任何摩擦，保證設備長期正常工作。

2、采用空冷式方式，不需配置冷卻水，從而節(jié)省空間。

3、采用氣鎮(zhèn)（Gas Ballast）結構，可以排出所吸取的水蒸氣。

4、若只抽取空氣與氮氣的情況下，只需三年維護一次，延長了設備的使用壽命，降低真空泵的使用成本。

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日本KASHIYAMA SDE4030M20干式真空泵 技術參數&配置清單

一、 技術參數：

式樣：SDE4030M20

MAX排氣速度（L/min）：80000

達到壓力（Pa）：0.5

電源電壓：3相  AC200-220V，380-480V

外型尺寸WHL [mm]：800×1580×1320

二、 配置清單：

設備原產地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：

1、設備運轉時，旋葉與旋葉、旋葉與腔壁之間沒有任何摩擦，保證設備長期正常工作。

2、采用空冷式方式，不需配置冷卻水，從而節(jié)省空間。

3、采用氣鎮(zhèn)（Gas Ballast）結構，可以排出所吸取的水蒸氣。

4、若只抽取空氣與氮氣的情況下，只需三年維護一次，延長了設備的使用壽命，降低真空泵的使用成本。

浚和（上海）儀器有限公司是一家供應國內外先進儀器和設備的專業(yè)供應商和服務商，致力于為客戶提供專業(yè)的定制化解決方案。多年來，持續(xù)為醫(yī)藥、化工、高校、科研單位、檢測院等多個行業(yè)提供先進的產品和專業(yè)的服務。

浚和在不斷引進國內外先進儀器設備的同時，結合行業(yè)和市場需求，加強和客戶之間的溝通，并與國際上多家知名儀器設備制造商保持著長期穩(wěn)定的合作關系，不定期地與合作商進行技術交流，努力加強自身技術力量。公司配備了數名有著多年行業(yè)經驗的技術人員，依靠雄厚的技術實力、科學合理的配置方案、專業(yè)的安裝調試和周到的售后服務，得到了廣大用戶的支持與信賴。

公司主要經營產品包括：等離子清洗機、真空泵、噴霧干燥器、數字PCR、高壓滅菌鍋、培養(yǎng)箱、切片機、水分測定儀、激光粒度儀、光譜儀、溫濕度記錄儀等，目前主要合作品牌有：日本雅馬拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、廣州永諾 、日本KEM等。同時，公司還提供專業(yè)的技術服務，如設備的維護、驗證等。

浚和儀器將始終以行業(yè)特點為立足點，以客戶需求為導向，不斷地提高自身專業(yè)技術能力，不停地完善客戶服務質量，在發(fā)展中保持創(chuàng)新的精神，力求與客戶共同進步，為行業(yè)的發(fā)展作出不懈的努力。