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C1902HX205Y16DF分子泵軸承批發(fā)

來源: 發(fā)布時間:2025-07-03

新巴頓分子泵軸承采用多道密封結(jié)構(gòu)設(shè)計,以滿足機械行業(yè)對真空系統(tǒng)的防泄漏要求。主密封采用迷宮式密封與骨架油封組合,迷宮間隙控制在 0.1-0.3mm,配合真空泵油形成液封,泄漏率≤1×10??Pa?m3/s。在半導體薄膜沉積設(shè)備中,這種密封系統(tǒng)可防止工藝氣體(如 NF?、Cl?)滲入軸承腔,避免潤滑劑失效。輔助密封采用 O 型圈(材質(zhì)為氟橡膠 Viton),耐溫范圍 - 20℃至 + 200℃,在機械啟停的溫度波動中保持彈性,確保密封面的貼合壓力≥0.5MPa。密封系統(tǒng)的整體設(shè)計使分子泵軸承在 10??Pa 高真空環(huán)境下仍能維持穩(wěn)定的密封性能,為機械工藝的真空度提供可靠保障。巴頓分子泵軸承:技術(shù)支持,解決客戶難題。C1902HX205Y16DF分子泵軸承批發(fā)

分子泵軸承

分子泵軸承選型需綜合考量轉(zhuǎn)速、載荷、真空度及環(huán)境介質(zhì)四大要素。以 100L/s 抽速的分子泵為例,其轉(zhuǎn)子重量約 5kg,高速旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的離心力可達 5000N,需選用接觸角為 30° 的角接觸球軸承,通過背對背安裝方式承受雙向軸向載荷。新巴頓提供的選型工具可根據(jù)用戶參數(shù)自動計算:當轉(zhuǎn)速超過 12 萬轉(zhuǎn) / 分鐘時,推薦采用 7000 系列角接觸軸承,其 Dm?N 值(軸承節(jié)圓直徑 × 轉(zhuǎn)速)可達 1.2×10?mm?r/min,同時需搭配陶瓷球以降低離心力引起的形變。對于含腐蝕性氣體的真空環(huán)境,316L 不銹鋼材質(zhì)的軸承配合 PTFE 保持架,可耐受氯氣、氟化氫等介質(zhì)的侵蝕。C2204HX205Y16DF分子泵軸承銷售新巴頓分子泵軸承,采用創(chuàng)新復合材料,耐磨耐蝕,承載能力優(yōu)越。

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新巴頓自主研發(fā)的微量油氣潤滑系統(tǒng),將潤滑油以 0.03ml/h 的精確流量與壓縮空氣混合形成油霧,相比傳統(tǒng)脂潤滑,摩擦功耗降低了 65%,且有效避免了積碳問題的產(chǎn)生。針對半導體行業(yè)的潔凈需求,推出全氟聚醚(PFPE)潤滑脂,其揮發(fā)分含量低于 0.08%,滿足 ISO 14644-1 Class 5 級潔凈標準,即便在 10??Pa 的超高真空環(huán)境下,依然能保持穩(wěn)定的潤滑性能。某半導體 MOCVD 設(shè)備使用該潤滑方案后,軸承的維護周期從 3 個月延長至 14 個月,每年可節(jié)省設(shè)備維護成本約 120 萬元,同時減少了因潤滑問題導致的設(shè)備停機風險。

分子泵高速旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的陀螺力矩需通過角接觸軸承的接觸角優(yōu)化來平衡。新巴頓的 7000 系列角接觸軸承采用 15°-40° 接觸角定制設(shè)計,當接觸角為 25° 時,可同時承受 3000N 軸向載荷與 1500N 徑向載荷,滿足 15 萬轉(zhuǎn) / 分鐘工況下的轉(zhuǎn)子穩(wěn)定性要求。通過有限元分析(FEA)優(yōu)化滾道曲率半徑系數(shù)至 1.08 倍球徑,使接觸應力降低 25%,避免邊緣過載導致的疲勞剝落。某半導體刻蝕設(shè)備改用該設(shè)計后,軸承的 L10 壽命(90% 可靠性壽命)從 3000 小時提升至 8000 小時。創(chuàng)新技術(shù)推動,新巴頓分子泵軸承帶領(lǐng)紡織機械高效發(fā)展。

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分子泵軸承的動態(tài)平衡技術(shù):高速分子泵的軸承組件需進行高精度動平衡,新巴頓采用雙面平衡機(精度等級 G0.4)對軸承 - 轉(zhuǎn)子系統(tǒng)進行整體平衡,殘余不平衡量控制在 0.5g?mm/kg 以下。對于 10kg 轉(zhuǎn)子,該精度可使高速運轉(zhuǎn)時的離心力波動≤5N,避免軸承異常磨損。平衡過程中通過激光去重技術(shù)(去除量精度 ±0.1mg)對轉(zhuǎn)子配重塊進行微調(diào),某真空鍍膜設(shè)備采用該技術(shù)后,軸承的振動加速度從 12m/s2 降至 3m/s2,達到 ISO 2372 機械振動等級 1 級標準。巴頓分子泵軸承:耐腐蝕,延長使用壽命。杭州巴頓C105HY14 分子泵軸承

巴頓分子泵軸承:優(yōu)化安裝設(shè)計,簡化安裝過程。C1902HX205Y16DF分子泵軸承批發(fā)

針對機械行業(yè)的噪聲控制需求,新巴頓對分子泵軸承進行噪聲頻譜優(yōu)化。通過頻譜分析發(fā)現(xiàn),軸承噪聲主要來自滾動體打滑(1000-3000Hz)和保持架碰撞(5000-8000Hz),因此采用橢圓滾子修形(修形量 0.01-0.03mm)降低打滑率,保持架采用鏤空式設(shè)計(質(zhì)量減輕 20%)減少碰撞能量。在紡織機械的真空吸風機中,優(yōu)化后的軸承噪聲從 75dB 降至 62dB,符合車間噪聲≤85dB 的環(huán)保標準。噪聲測試在半消聲室(本底噪聲≤30dB)中進行,通過 1/3 倍頻程分析,確保各頻段噪聲均低于行業(yè)限值,為機械操作人員創(chuàng)造更舒適的工作環(huán)境。C1902HX205Y16DF分子泵軸承批發(fā)

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