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晶圓是半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵元件，隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展，晶圓的搬運(yùn)技術(shù)逐漸成為制約行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵因素。晶圓搬運(yùn)機(jī)械手是IC裝備的**之一，其性能的優(yōu)劣直接影響晶圓的生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量，體現(xiàn)著整個(gè)加工系統(tǒng)的自動(dòng)化程度和可靠性。在晶圓加工系統(tǒng)中包含兩類晶圓搬運(yùn)機(jī)械...

半導(dǎo)體晶圓有時(shí)在處理室內(nèi)暴露在高溫中。因此，機(jī)械手有時(shí)輸送高溫的半導(dǎo)體晶圓。若高溫的半導(dǎo)體晶圓與手部接觸，則手部的溫度上升，并且配置在前臂連桿與手部之間的關(guān)節(jié)的溫度也上升。由此，安裝于關(guān)節(jié)的軸承的溫度上升。軸承的溫度上升促進(jìn)該軸承內(nèi)的潤滑劑的劣化。因此，與配置...

工業(yè)機(jī)械臂不應(yīng)該稱之為智能制造的未來，智能制造的概念與涵蓋的范圍不是工業(yè)機(jī)械臂這一種工業(yè)產(chǎn)品能夠一言以蔽之的。高精度、多傳感的三軸與五軸加工就不是智能制造了嗎？答案肯定是否定的。智能制造的目的在于高度自適應(yīng)、多傳感信息融合等，將現(xiàn)有的制造水平提升到更高的層...

傳感系統(tǒng)是晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂實(shí)現(xiàn)精確操作的關(guān)鍵。它猶如吸臂的“眼睛”和“神經(jīng)”，實(shí)時(shí)監(jiān)測吸臂的位置、姿態(tài)以及晶圓的狀態(tài)，為控制系統(tǒng)提供準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)反饋。在位置和姿態(tài)檢測方面，通常采用高精度的編碼器、陀螺儀和激光傳感器等。編碼器可以精確測量吸臂關(guān)節(jié)的旋轉(zhuǎn)角度和直線位...

微孔陶瓷簡介 性能 (1)氣孔率高。多孔陶瓷的重要特征是具有中較多的均勻可控的氣孔。氣孔有開口氣孔和閉口氣孔之分，開口氣孔具有過濾、吸收、吸附、消除回聲等作用，而閉口氣孔則有利于阻隔熱量、聲音以及液體與固體微粒傳遞。 (2)...

多功能一體化機(jī)械臂，包括機(jī)械臂主體，所述機(jī)械臂主體由設(shè)置在該機(jī)械臂主體底部的底座、設(shè)置在底座頂部的后臂及設(shè)置在后臂頂部的前臂構(gòu)成的，該種多功能一體化機(jī)械臂，改進(jìn)了原有產(chǎn)品的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型多功能一體化機(jī)械臂具有成本費(fèi)用較低、占地面積較小和驅(qū)動(dòng)充足的特點(diǎn)，本機(jī)械...

精密結(jié)構(gòu)陶瓷具有許多獨(dú)特的優(yōu)勢。以下是其中的三個(gè)主要方面：1.高耐久性：精密結(jié)構(gòu)陶瓷的耐久性 超過許多傳統(tǒng)材料。這是因?yàn)樘沾刹牧系挠捕雀撸瘜W(xué)穩(wěn)定性好，抗腐蝕性能強(qiáng)。這種特性使精密結(jié)構(gòu)陶瓷在各種惡劣環(huán)境中都能保持長期的穩(wěn)定性。2.抗高溫性能：精密結(jié)構(gòu)陶瓷的另一...

有機(jī)泡沫浸漬工藝 有機(jī)泡沫浸漬法是用有機(jī)泡沫浸漬陶瓷漿料，干燥后燒掉有機(jī)泡沫，獲得多孔陶瓷的一種方發(fā)泡工藝法。該法適于制備高氣孔率、開口氣孔的多孔陶瓷。這種方法制備的泡沫陶瓷是目前最主要的多孔陶瓷之一。 溶膠－凝膠工藝 溶膠- 凝膠工藝主...

水熱－熱靜壓工藝 該工藝通過水作為壓力傳遞介質(zhì)制備各種孔徑多孔陶瓷。其簡單制備步驟為：硅凝膠和10%(質(zhì)量百分?jǐn)?shù))的水混合，置于高壓釜中(壓力10—15MPa，溫度300℃)，通過水蒸汽的揮發(fā)而制成多孔陶瓷。水熱－熱靜壓工藝中，反應(yīng)時(shí)間一般為10—1...

等靜壓成型是在傳統(tǒng)干壓成型基礎(chǔ)上發(fā)展起來的特種成型方法。它利用流體傳遞壓力，從各個(gè)方向均勻地向彈性模具內(nèi)的粉體施加壓力。由于流體內(nèi)部壓力的一致性，粉體在各個(gè)方向承受的壓力都一樣，因此能避免坯體內(nèi)密度的差別。 等靜壓成型有濕袋式等靜壓和干袋式等靜壓之分...

高純型氧化鋁陶瓷系A(chǔ)l2O3含量在99．9%以上的陶瓷材料，由于其燒結(jié)溫度高達(dá)1650—1990℃，透射波長為1～6μm，在電子工業(yè)中可用作集成電路基板與高頻絕緣材料。 氧化鋯陶瓷呈白色，含雜質(zhì)時(shí)呈黃色或灰色，一般含有HfO2，不易分離。在...

耐磨陶瓷涂料施工說明 1、攪拌準(zhǔn)備：采用強(qiáng)制攪拌機(jī)拌和，所有攪拌工具必須清潔，不得混有泥沙、石灰、硅酸鹽水泥等雜物。 2、促凝劑加入，根據(jù)施工環(huán)境溫度，選擇促凝劑合適加入量。溫度小于20℃時(shí)，促凝劑可全部加入；大于20℃時(shí)可根據(jù)施工時(shí)間要求，適當(dāng)調(diào)節(jié)促凝劑...

割拋光： 單晶棒將按適當(dāng)?shù)某叽邕M(jìn)行切割，然后進(jìn)行研磨，將凹凸的切痕磨掉，再用化學(xué)機(jī)械拋光工藝使其至少一面光滑如鏡，晶圓片制造就完成了。 二，晶圓制造步驟 晶圓鍍膜： 通過物理或其他方式（如高溫等）使晶圓上產(chǎn)生一層二氧化硅。二氧化硅為...

1.粉末加入量：涂層中起耐磨作用的主要是氧化鋁陶瓷粉末，當(dāng)粉末加入量少時(shí)，承受磨損的支點(diǎn)少，涂層得不到有效保護(hù)。隨著粉末加入量的增多，承受磨損的陶瓷面積增大，涂層得到保護(hù)，磨損失重量減少。當(dāng)粉末含量增大到一定量的時(shí)候，磨損量就達(dá)到相當(dāng)小的地步了。當(dāng)...

區(qū)熔法分為兩種：水平區(qū)熔法和立式懸浮區(qū)熔法。前者主要用于鍺、GaAs等材料的提純和單晶生長；后者主要用于硅。為什么有橫著和豎著長的不同捏？這是由于硅的熔點(diǎn)高，化學(xué)性能活潑，容易受到異物的玷污，所以難以找到適合的器皿來盛方，自然水平區(qū)熔法不能用在硅的...

工程陶瓷材料的廠家，因?yàn)檫@種陶瓷材料硬度更高，耐磨性也更好氧化鋯陶瓷目前已經(jīng)有了非常***的應(yīng)用，而且市場需求量也在日益增加，所以現(xiàn)在氧化鋯陶瓷廠家也越來越多，那么應(yīng)該如何選擇氧化鋯陶瓷生產(chǎn)廠家呢？下面就來為大家進(jìn)行分析。工程陶瓷材料的廠家，因?yàn)檫@...

陶瓷耐磨膠泥的保質(zhì)期通常是指涂料產(chǎn)品在正常的貯存條件下能夠正常施工，并且在施工后能夠保證涂料正常性能的貯存期限。一般來說，大部分涂料產(chǎn)品在其說明書中規(guī)定的保質(zhì)期是12個(gè)月，易沉淀和在貯存過程中存在緩慢化學(xué)反應(yīng)的涂料保質(zhì)期一般規(guī)定為6個(gè)月。使用廠家對大多數(shù)涂料都...

3) 加速度反饋控制。Khorrami FarShad 和Jain Sandeep研究了利用末端加速度反饋控制柔性機(jī)械臂的末端軌跡控制問題。4) 被動(dòng)阻尼控制。為降低柔性體相對彈性變形的影響 選用各種耗能或儲(chǔ)能材料設(shè)計(jì)臂的結(jié)構(gòu)以控制振動(dòng)。 或者在柔性梁上采用阻...

生物工程材料在傳統(tǒng)生物陶瓷基礎(chǔ)上研究開發(fā)的多孔生物陶瓷，由于生物相容性好，理化性能穩(wěn)定，***副作用的特點(diǎn)而被用于制作生物材料。當(dāng)用于修補(bǔ)骨缺損部位時(shí)，新生物將逐漸進(jìn)入多孔陶瓷珊瑚狀孔隙內(nèi)，慢慢將多孔陶瓷吸收，最終，這種多孔陶瓷將由新生骨制質(zhì)取代。...

2)利用多孔陶瓷制備多孔電極。以多孔氣體擴(kuò)散電極為例，它的比表面積不但比平板電極提高3～5個(gè)數(shù)量級，而且液相傳質(zhì)層的厚度也從平板電極的10cm壓縮到1O～10cm，從而大大提高電極的極限電流密度，減少濃差極化。 敏感元件 陶瓷傳感器的敏感元件工...

氧化鋯陶瓷具 隨著社會(huì)不斷的發(fā)展，在結(jié)構(gòu)陶瓷方面，由于氧化鋯陶瓷具有高韌性、高抗彎強(qiáng)度和高耐磨性，優(yōu)異的隔熱性能，熱膨脹系數(shù)接近于鋼等優(yōu)點(diǎn)，因此被廣泛應(yīng)用于結(jié)構(gòu)陶瓷領(lǐng)域。那么氧化鋯陶瓷可以應(yīng)用在哪些方面呢？ 一、耐火材料 氧化鋯陶瓷的化學(xué)...

離子交換法層狀硅酸納晶體與十八烷基三甲基溴化銨在水中充分混合,硅酸鹽層間的陽離子與銨鹽陽離子將自發(fā)地進(jìn)行交換,由于銨鹽離子體積較大,硅酸鹽的片層結(jié)構(gòu)會(huì)因銨鹽的引入而發(fā)生彎曲變形,彎曲的片層之間發(fā)生縮聚,將有機(jī)物包圍在片層當(dāng)中,經(jīng)高溫?zé)Y(jié)除去有機(jī)物,...

晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂在半導(dǎo)體制造中具有不可替代的重要性。首先，它是保證半導(dǎo)體生產(chǎn)線高效運(yùn)行的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。在半導(dǎo)體制造過程中，晶圓需要經(jīng)過多個(gè)工序的加工，如光刻、刻蝕、沉積、摻雜等，每個(gè)工序都在不同的設(shè)備上進(jìn)行。機(jī)械吸臂能夠快速、準(zhǔn)確地將晶圓在各個(gè)設(shè)備之間進(jìn)行搬運(yùn)，減...

晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂是半導(dǎo)體制造過程中至關(guān)重要的設(shè)備組件，它專門用于精確、可靠地搬運(yùn)晶圓。晶圓作為半導(dǎo)體芯片的基礎(chǔ)材料，其制造過程對環(huán)境和操作的精度要求極高，任何微小的污染或損傷都可能導(dǎo)致芯片性能下降甚至報(bào)廢。機(jī)械吸臂在這個(gè)過程中扮演著“晶圓搬運(yùn)工”的關(guān)鍵角色，確...

微孔陶瓷真空吸盤的特點(diǎn)： 高吸附力：微孔陶瓷真空吸盤通過大量微孔的設(shè)計(jì)，能夠提供強(qiáng)大的吸附力，確保工件牢固地固定在吸盤表面，不易脫落。耐用性強(qiáng)：陶瓷材料具有高溫耐性、耐磨性和耐腐蝕性等特點(diǎn)，能夠在惡劣的工作環(huán)境下長時(shí)間穩(wěn)定工作。準(zhǔn)確度高：微孔陶瓷真空...

微孔陶瓷真空吸盤的原理：微孔陶瓷真空吸盤的工作原理基于真空吸附技術(shù)。它通過在吸盤表面制造大量微小的孔洞，當(dāng)吸盤與工件接觸時(shí)，通過外部真空源產(chǎn)生的負(fù)壓將空氣抽出吸盤內(nèi)部，形成真空狀態(tài)。由于外部大氣壓力的作用，工件被牢固地吸附在吸盤表面，從而實(shí)現(xiàn)固定和搬運(yùn)的目...

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，...

高純型氧化鋁陶瓷系A(chǔ)l2O3含量在99．9%以上的陶瓷材料，由于其燒結(jié)溫度高達(dá)1650—1990℃，透射波長為1～6μm，在電子工業(yè)中可用作集成電路基板與高頻絕緣材料。 氧化鋯陶瓷呈白色，含雜質(zhì)時(shí)呈黃色或灰色，一般含有HfO2，不易分離。在...

背景技術(shù)： 晶圓的生產(chǎn)與制作屬極為精密的加工技術(shù)，其通常需借助晶圓傳輸裝置來進(jìn)行運(yùn)輸傳遞等作業(yè)。例如，準(zhǔn)備對晶圓進(jìn)行刻蝕加工時(shí)，需要利用晶圓傳輸裝置將晶舟內(nèi)的待刻蝕晶圓傳輸至刻蝕機(jī)臺內(nèi)。 現(xiàn)有一種晶圓傳輸裝置包括機(jī)械手臂，該機(jī)械手臂的表面設(shè)有卡...

陶瓷耐磨膠泥的保質(zhì)期通常是指涂料產(chǎn)品在正常的貯存條件下能夠正常施工，并且在施工后能夠保證涂料正常性能的貯存期限。一般來說，大部分涂料產(chǎn)品在其說明書中規(guī)定的保質(zhì)期是12個(gè)月，易沉淀和在貯存過程中存在緩慢化學(xué)反應(yīng)的涂料保質(zhì)期一般規(guī)定為6個(gè)月。使用廠家對大多數(shù)涂料都...