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反射鏡微晶鋁合金原理

來源: 發(fā)布時間:2024-05-08

極紫外光刻(英語:Extremeultra-violet,也稱EUV或EUVL)是一種使用極紫外(EUV)波長是下一代光刻技術,其波長為13.5納米,預計將于2021年得到廣泛應用。幾乎所有的光學材料對13.5nm波長的極紫外光都有很強的吸收,因此,EUV光刻機的光學系統(tǒng)只有使用反光鏡。我們上海微聯(lián)實業(yè)的RSA905鋁合金材料正是適合做反射鏡的材料,很好得避免了材料吸收紫外線的問題。增大紫外線的反射率。RSP鋁合金的微晶結構使其可以應用在空間觀測設備上。在空間的低溫環(huán)境下,鋁合金反射鏡與其安裝的支撐結構的金屬材料的膨脹系數(shù)接近。,降低其膨脹系數(shù)不匹配的影響,可以避免了光機系統(tǒng)材料膨脹系數(shù)不一致帶來的熱應力和應變。保證其光學系統(tǒng)參數(shù)長期穩(wěn)定在一個范圍值內。RSP鋁合金可以用現(xiàn)有的車,磨,銑等工藝快速制作加工反射鏡基本結構,充分發(fā)揮鋁合金材料易成型的特點。同時可以用單點金剛石車削工藝加工反射鏡鏡面。可以直接獲得滿足光學系統(tǒng)成像質量高的光滑表面。RSP鋁合金的抗疲勞性好,在航空航天材料應用中有良好的性價比。上海微聯(lián)實業(yè)的微晶鋁合金直接出貨。反射鏡微晶鋁合金原理

反射鏡微晶鋁合金原理,微晶鋁合金

RSP鋁合金的微晶結構使其可以應用在空間觀測設備上。在空間的低溫環(huán)境下,鋁合金反射鏡與其安裝的支撐結構的金屬材料的膨脹系數(shù)接近。降低其膨脹系數(shù)不匹配的影響,可以避免了光機系統(tǒng)材料膨脹系數(shù)不一致帶來的熱應力和應變。保證其光學系統(tǒng)參數(shù)長期穩(wěn)定在一個范圍值內。在光學模具中也有很好的應用,專門批號的鋁合金具有硬度高,高平整度,高模次率的優(yōu)點。RSP鋁合金可以用現(xiàn)有的車,磨,銑等工藝快速制作加工反射鏡基本結構,充分發(fā)揮鋁合金材料易成型的特點。同時可以用單點金剛石車削工藝加工反射鏡鏡面??梢灾苯荧@得滿足光學系統(tǒng)成像質量高的光滑表面。RSP鋁合金的抗疲勞性好,在航空航天材料應用中有良好的性價比。RSP鋁合金熱穩(wěn)定性和機械穩(wěn)定性好,可以應用在高精密工業(yè)半導體部件上??梢宰鼋Y構支撐件。通用的微晶鋁合金衛(wèi)星用的反射鏡的微晶鋁合金。

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上海微聯(lián)實業(yè)的微晶鋁合金材料的應用。RSA-905微晶結構,適合精密拋光加工,應用反射鏡和光學透鏡模具。特點:1,表面平整度好小于1nm2,不需要在表面鍍層3,成型后穩(wěn)定性高4,熱膨脹系數(shù)低5,高導熱率6,輕量化解決方案。RSA-443熱穩(wěn)定性和機械性能高,可以應用于高精密工業(yè)半導體部件。特點:1,優(yōu)越的可加工性2,比剛度高3,成型后穩(wěn)定性高4,熱膨脹系數(shù)低5,高導熱率6,輕量化解決方案。RSA-6061可用于獲得1nm的表面粗糙度,使其成為視覺和紅外光學系統(tǒng)的一個促成因素應用

微晶結構鋁合金材料的應用,RSA-905微晶結構,適合精密拋光加工,應用反射鏡和光學透鏡模具。特點:表面平整度好小于1nm,不需要在表面鍍層,成型后穩(wěn)定性高,熱膨脹系數(shù)低,高導熱率,輕量化解決方案。RSA-443熱穩(wěn)定性和機械性能高,可以應用于高精密工業(yè)半導體部件。特點:1,優(yōu)越的可加工性2,比剛度高3,成型后穩(wěn)定性高4,熱膨脹系數(shù)低5,高導熱率6,輕量化解決方案??焖倮鋮s工藝使微晶合金晶粒大小分布均勻,容易得到表面高平整度。加工性能好??梢宰龉鈱W模具的微晶鋁合金。

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