SmartNIL是一項關(guān)鍵的啟用技術(shù)，可用于顯示器，生物技術(shù)和光子應用中的許多新創(chuàng)新。例如，SmartNIL提供了無與倫比的全區(qū)域共形壓印，以便滿足面板基板上線柵偏振器的最重要標準。SmartNIL還非常適合對具有復雜納米結(jié)構(gòu)的微流控芯片進行高精度圖案化，以支持下一代藥 物研究和醫(yī)學診斷設備的生產(chǎn)。此外，SmartNIL的最 新發(fā)展為制造具有最 高功能，最小外形尺寸和大體積創(chuàng)新型光子結(jié)構(gòu)提供了更多的自由度，這對于實現(xiàn)衍射光學元件（DOE）至關(guān)重要。
特征：
體積驗證的壓印技術(shù)，具有出色的復制保真度
專有SmartNIL ®技術(shù)，多使用聚合物印模技術(shù)
經(jīng)過生產(chǎn)驗證的分辨率低至40 nm或更小
大面積全場壓印
總擁有成本最 低
在地形上留下印記
對準能力
室溫過程
開放式材料平臺 HERCULES NIL 300 mm提供市場上最 先 進納米壓印功能，具有較低的力和保形壓印，快速高功率曝光和平滑壓模分離。江西納米壓印三維芯片應用
曲面基底上的納米結(jié)構(gòu)在許多領(lǐng)域都有著重要應用，例如仿生學、柔性電子學和光學器件等。傳統(tǒng)的納米壓印技術(shù)通常采用剛性模板，可以實現(xiàn)亞10nm的分辨率，但是模板不能彎折，無法在曲面基底上壓印制備納米結(jié)構(gòu)。而采用彈性模板的軟壓印技術(shù)可以在無外界提供壓力下與曲面保形接觸，實現(xiàn)結(jié)構(gòu)在非平面基底上的壓印復制，但是由于彈性模板的楊氏模量較低，所以壓印結(jié)構(gòu)的分辨率和精度都受到限制?；谀壳凹{米壓印的發(fā)展現(xiàn)狀，結(jié)合傳統(tǒng)的納米壓印技術(shù)和軟壓印技術(shù)，中國科學院光電技術(shù)研究所團隊發(fā)展了一種基于紫外光固化巰基-烯材料的亞100nm分辨率的復合軟壓印模板的制備方法，該模板包含剛性結(jié)構(gòu)層和彈性基底層。（來自網(wǎng)絡，侵權(quán)請聯(lián)系我們進行刪除，謝謝?。?官方納米壓印有哪些應用納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級和納米級結(jié)構(gòu)的低成本的技術(shù)，大批量替代光刻技術(shù)。
該公司的高科技粘合劑以功能與可靠性聞名于世。根據(jù)客戶的專門需求，公司對這些聚合物作出調(diào)整，使其具備其它特征。它們極其適合工業(yè)環(huán)境，在較短的生產(chǎn)周期時間內(nèi)粘合各種微小的元件。此外，DELO紫外線LED固化設備與點膠閥的可靠度十分杰出。關(guān)于德路德路(DELO)是世界前列的工業(yè)粘合劑制造商，總部位于德國慕尼黑附近的Windach。在美國、中國、新加坡及日本均設有子公司。2019財政年，公司的780名員工創(chuàng)造了。該公司產(chǎn)品在全球范圍內(nèi)廣泛應用于汽車、消費類電子產(chǎn)品與工業(yè)電子產(chǎn)品。幾乎每一部智能手機與超過一半的汽車上都使用該公司產(chǎn)品。DELO的客戶包括博世、戴姆勒、華為、歐司朗、西門子以及索尼等。關(guān)于EVGroup(EVG)EV集團(EVG)是為生產(chǎn)半導體、微機電系統(tǒng)(MEMS)、化合物半導體、功率器件以及納米技術(shù)器件制造提供設備與工藝解決方案的領(lǐng)先供應商。該公司主要產(chǎn)品包括晶圓鍵合、薄晶圓處理、光刻/納米壓印光刻技術(shù)（NIL）與計量設備，，以及涂膠機、清洗機與檢測系統(tǒng)。EV集團創(chuàng)辦于1980年，可為遍及全球的眾多客戶與合作伙伴提供各類服務與支持。
為了優(yōu)化工藝鏈，HERCULES NIL中包括多次使用的軟印章的制造，這是大批量生產(chǎn)的基石，不需要額外的壓印印章制造設備。作為一項特殊功能，該工具可以升級為具有ISO 3 *功能的微型環(huán)境，以確保最 低的缺 陷率和最 高質(zhì)量的原版復制。
通過為大批量生產(chǎn)提供完整的NIL解決方案，HERCULES NIL增強了EVG在全 面積NIL設備解決方案中的領(lǐng)導地位。
*根據(jù)ISO 14644
HERCULES ® NIL特征：
批量生產(chǎn)最小40 nm *或更小的結(jié)構(gòu)
聯(lián)合預處理（清潔/涂層/烘烤/寒意）和SmartNIL ®
體積驗證的壓印技術(shù)，具有出色的復制保真度
全自動壓印和受控的低力分離，可最 大程度地重復使用工作印章
包括工作印章制造能力
高功率光源，固化時間最快
優(yōu)化的模塊化平臺可實現(xiàn)高吞吐量
*分辨率取決于過程和模板 EVG的納米壓印光刻（NIL） - SmartNIL ? 是用于大批量生產(chǎn)的大面積軟UV納米壓印光刻工藝。
EV Group的一系列高精度熱壓花系統(tǒng)基于該公司市場領(lǐng)先的晶圓鍵合技術(shù)。出色的壓力和溫度控制以及大面積上的均勻性可實現(xiàn)高精度的壓印。熱壓印是一種經(jīng)濟高 效且靈活的制造技術(shù)，具有非常高的復制精度，可用于最小50 nm的特征尺寸。該系統(tǒng)非常適合將復雜的微結(jié)構(gòu)和納米結(jié)構(gòu)以及高長寬比的特征壓印到各種聚合物基材或旋涂聚合物中。
NILPhotonics®能力中心-支持和開發(fā)
NILPhotonics能力中心是經(jīng)過驗證的創(chuàng)新孵化器。
歡迎各位客戶來樣制作，驗證EVG的納米壓印設備的性能。
EVG的熱壓印是一種經(jīng)濟高 效且靈活的制造技術(shù)，具有非常高的復制精度，可用于最小50 nm的特征尺寸。微透鏡納米壓印試用
納米壓印設備哪個好？預墨印章可用于將材料以明顯的圖案轉(zhuǎn)移到基材上。江西納米壓印三維芯片應用
EVG ® 720自動SmartNIL
® UV納米壓印光刻系統(tǒng)
自動全視野的UV納米壓印溶液達150毫米，設有EVG's專有SmartNIL ®技術(shù)
EVG720系統(tǒng)利用EVG的創(chuàng)新SmartNIL技術(shù)和材料專業(yè)知識，能夠大規(guī)模制造微米和納米級結(jié)構(gòu)。具有SmartNIL技術(shù)的EVG720系統(tǒng)能夠在大面積上印刷小至40 nm *的納米結(jié)構(gòu)，具有無與倫比的吞吐量，非常適合批量生產(chǎn)下一代微流控和光子器件，例如衍射光學元件（ DOEs）。
*分辨率取決于過程和模板
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