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半導(dǎo)體磨削砂輪制程工藝

來源: 發(fā)布時間:2025-06-08

江蘇優(yōu)普納科技有限公司的碳化硅晶圓減薄砂輪,以其低損耗特性成為半導(dǎo)體加工領(lǐng)域的理想選擇。其獨特的多孔顯微組織調(diào)控技術(shù),使得砂輪在高磨削效率的同時,磨耗比極低。在東京精密-HRG200X減薄機的實際應(yīng)用中,6吋SiC線割片的磨耗比只為15%,而8吋SiC線割片的磨耗比也只為35%。這意味著在長時間的加工過程中,砂輪的磨損極小,使用壽命更長,為客戶節(jié)省了大量的成本。低損耗不只體現(xiàn)在砂輪本身的使用壽命上,還體現(xiàn)在加工后的晶圓表面質(zhì)量上,損傷極小,進一步提升了產(chǎn)品的性價比,助力優(yōu)普納在國產(chǎn)化替代進程中占據(jù)優(yōu)勢。優(yōu)普納碳化硅晶圓減薄砂輪,以技術(shù)創(chuàng)新為主,不斷突破性能瓶頸,為國產(chǎn)半導(dǎo)體材料加工提供有力支持。半導(dǎo)體磨削砂輪制程工藝

半導(dǎo)體磨削砂輪制程工藝,砂輪

江蘇優(yōu)普納碳化硅減薄砂輪憑借超細金剛石磨粒與高自銳性設(shè)計,在第三代半導(dǎo)體晶圓加工中實現(xiàn)低損傷、低粗糙度的行業(yè)突破。以DISCO-DFG8640設(shè)備為例,精磨8吋SiC線割片時,砂輪磨耗比達200%,表面粗糙度Ra≤3nm,TTV精度≤2μm,完全滿足5G芯片、功率器件對晶圓平整度的嚴苛要求。對比進口砂輪,優(yōu)普納產(chǎn)品在相同加工條件下可減少磨削熱損傷30%,明顯提升晶圓良率,尤其適用于新能源汽車電驅(qū)模塊等高附加值領(lǐng)域。歡迎您的隨時致電咨詢。Dmix+砂輪報價基體優(yōu)化設(shè)計的優(yōu)普納砂輪,減少振動,增強冷卻液流動,提升加工效率與質(zhì)量,適配不同設(shè)備,展現(xiàn)強適配性。

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針對第三代半導(dǎo)體材料(SiC/GaN)的減薄需求,優(yōu)普納砂輪適配6吋、8吋晶圓,滿足襯底片粗磨、精磨全流程。以東京精密HRG200X設(shè)備為例,6吋SiC線割片采用2000#砂輪粗磨,磨耗比只15%,Ra≤30nm;精磨使用30000#砂輪,磨耗比120%,Ra≤3nm,TTV穩(wěn)定在2μm以下。DISCO設(shè)備案例中,8吋晶圓精磨后TTV≤2μm,適配性強,可替代日本、德國進口產(chǎn)品。江蘇優(yōu)普納科技有限公司專業(yè)生產(chǎn)砂輪,品質(zhì)有保證,歡迎您的隨時致電咨詢,為您提供滿意的產(chǎn)品以及方案。

江蘇優(yōu)普納科技有限公司的碳化硅晶圓減薄砂輪,以其高精度加工能力成為第三代半導(dǎo)體材料加工的理想選擇。其專研的強度高微晶增韌陶瓷結(jié)合劑和多孔顯微組織調(diào)控技術(shù),賦予了砂輪優(yōu)越的穩(wěn)定性,能夠有效減少振動,確保加工后的晶圓表面粗糙度極低。在東京精密-HRG200X減薄機的實際應(yīng)用中,6吋和8吋SiC線割片的加工結(jié)果顯示,表面粗糙度Ra值和總厚度變化TTV均達到了行業(yè)先進水平。這種高精度的加工能力,不只滿足了半導(dǎo)體制造的需求,也為優(yōu)普納在國產(chǎn)碳化硅減薄砂輪市場奠定了堅實的基礎(chǔ),助力其品牌形象進一步鞏固。砂輪于東京精密-HRG200X減薄機上,使8吋SiC線割片磨耗比達300% Ra≤3nm TTV≤2μm 彰顯高精度與高磨耗比優(yōu)勢。

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在半導(dǎo)體加工領(lǐng)域,精度和效率是關(guān)鍵。江蘇優(yōu)普納科技有限公司的碳化硅晶圓減薄砂輪,通過其超細金剛石磨粒和超高自銳性,實現(xiàn)了高磨削效率和低損傷的完美平衡。在東京精密-HRG200X減薄機的實際應(yīng)用中,6吋和8吋SiC線割片的加工結(jié)果顯示,表面粗糙度Ra值和總厚度變化TTV均達到了行業(yè)先進水平。這種高精度的加工能力,不只滿足了半導(dǎo)體制造的需求,還為客戶節(jié)省了大量時間和成本,助力優(yōu)普納在國產(chǎn)碳化硅減薄砂輪市場中占據(jù)重要地位。通過多孔顯微組織調(diào)控技術(shù),砂輪在DISCO-DFG8640減薄機上加工8吋SiC線割片 磨耗比30%,Ra≤30nm TTV≤3μm。砂輪更換周期

從材料特性到設(shè)備適配,優(yōu)普納砂輪提供全方面解決方案,確保加工過程的高效性和穩(wěn)定性。半導(dǎo)體磨削砂輪制程工藝

江蘇優(yōu)普納科技有限公司:強度高微晶增韌陶瓷結(jié)合劑通過優(yōu)化陶瓷相分布,提升砂輪抗沖擊性,減少磨粒脫落;多孔顯微組織調(diào)控技術(shù)增強冷卻液滲透效率,降低磨削熱損傷。兩項技術(shù)結(jié)合使砂輪壽命延長30%,磨削效率提升25%,尤其適用于高硬度SiC晶圓加工。實際案例顯示,在DISCO-DFG8640設(shè)備上,8吋晶圓精磨磨耗比達200%,遠優(yōu)于行業(yè)平均水平。江蘇優(yōu)普納科技有限公司專業(yè)生產(chǎn)砂輪,品質(zhì)有保證,歡迎您的隨時致電咨詢,為您提供滿意的產(chǎn)品以及方案。半導(dǎo)體磨削砂輪制程工藝

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