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珠海進口光刻膠國產(chǎn)廠商

來源: 發(fā)布時間:2025-06-02

廣東吉田半導體材料有限公司多種光刻膠產(chǎn)品,各有特性與優(yōu)勢,適用于不同領(lǐng)域。

厚板光刻膠 JT - 3001:具有優(yōu)異的分辨率和感光度,抗深蝕刻性能良好。符合歐盟 ROHS 標準,保質(zhì)期 1 年,適用于對光刻精度和抗蝕刻要求較高的厚板加工場景,如一些特殊的電路板制造。

SU - 3 負性光刻膠:分辨率優(yōu)異,對比度良好,曝光靈敏度高,光源適應。重量為 100g,常用于對曝光精度和光源適應性要求較高的微納加工、半導體制造等領(lǐng)域。

液晶平板顯示器負性光刻膠 JT - 1000:有 1L 和 100g 兩種規(guī)格,具有優(yōu)異的分辨率,準確性和穩(wěn)定性好。主要應用于液晶平板顯示器的制造,能滿足其對光刻膠高精度和穩(wěn)定性的需求。

JT - 2000 UV 納米壓印光刻膠:耐強酸強堿,耐高溫達 250°C,長期可靠性高,粘接強度高。重量 100g,適用于需要在特殊化學和高溫環(huán)境下進行納米壓印光刻的工藝,如一些半導體器件的制造。 挑戰(zhàn)與未來展望的發(fā)展。珠海進口光刻膠國產(chǎn)廠商

珠海進口光刻膠國產(chǎn)廠商,光刻膠

定義與特性

正性光刻膠是一種在曝光后,曝光區(qū)域會溶解于顯影液的光敏材料,形成與掩膜版(Mask)圖案一致的圖形。與負性光刻膠(未曝光區(qū)域溶解)相比,其優(yōu)勢是分辨率高、圖案邊緣清晰,是半導體制造(尤其是制程)的主流選擇。

化學組成與工作原理

 主要成分

? 樹脂(成膜劑):

? 傳統(tǒng)正性膠:采用**酚醛樹脂(Novolak)與重氮萘醌(DNQ,光敏劑)**的復合體系(PAC體系),占比約80%-90%。

? 化學增幅型(用于DUV/EUV):含環(huán)化烯烴樹脂或含氟聚合物,搭配光酸發(fā)生器(PAG),通過酸催化反應提高感光度和分辨率。

? 溶劑:溶解樹脂和感光劑,常用丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)或乳酸乙酯。

? 添加劑:表面活性劑(改善涂布均勻性)、穩(wěn)定劑(防止暗反應)、堿溶解度調(diào)節(jié)劑等。

 工作原理

? 曝光前:光敏劑(如DNQ)與樹脂結(jié)合,形成不溶于堿性顯影液的復合物。

? 曝光時:

? 傳統(tǒng)PAC體系:DNQ在紫外光(G線436nm、I線365nm)照射下發(fā)生光分解,生成羧酸,使曝光區(qū)域樹脂在堿性顯影液中溶解性增強。

? 化學增幅型:PAG在DUV/EUV光下產(chǎn)生活性酸,催化樹脂發(fā)生脫保護反應,大幅提高顯影速率(靈敏度提升10倍以上)。

? 顯影后:曝光區(qū)域溶解去除,未曝光區(qū)域保留,形成正性圖案。
沈陽LED光刻膠廠家納米級圖案化的主要工具。

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  1. 正性光刻膠(如 YK-300)
    應用場景:用于芯片的精細圖案化,如集成電路(IC)、分立器件(二極管、三極管)的制造。
    特點:高分辨率(可達亞微米級),適用于多層光刻工藝,確保芯片電路的高精度與可靠性。
  2. 負性光刻膠(如 JT-1000)
    應用場景:用于功率半導體(如 MOSFET、IGBT)的制造,以及傳感器(如 MEMS)的微結(jié)構(gòu)成型。
    特點:抗蝕刻能力強,適合復雜圖形的轉(zhuǎn)移,尤其在深寬比要求較高的工藝中表現(xiàn)優(yōu)異。
  3. 納米壓印光刻膠(JT-2000)
    應用場景:第三代半導體(GaN、SiC)芯片、量子點器件及微流控芯片的制造。特點:耐高溫(250℃)、耐酸堿,支持納米級精度圖案復制,降低芯片的制造成本。

納米壓印光刻膠


  • 微納光學器件制造:制作衍射光學元件、微透鏡陣列等微納光學器件時,納米壓印光刻膠可實現(xiàn)高精度的微納結(jié)構(gòu)復制。通過納米壓印技術(shù),將模板上的微納圖案轉(zhuǎn)移到光刻膠上,再經(jīng)過后續(xù)處理,可制造出具有特定光學性能的微納光學器件,應用于光通信、光學成像等領(lǐng)域。
  • 生物芯片制造:在 DNA 芯片、蛋白質(zhì)芯片等生物芯片的制造中,需要在芯片表面構(gòu)建高精度的微納結(jié)構(gòu),用于生物分子的固定和檢測。納米壓印光刻膠可幫助實現(xiàn)這些精細結(jié)構(gòu)的制作,提高生物芯片的檢測靈敏度和準確性。

  • 嚴苛光刻膠標準品質(zhì),吉田半導體綠色制造創(chuàng)新趨勢。

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     企業(yè)定位與資質(zhì)

    ? 成立背景:深耕半導體材料行業(yè)23年,位于松山湖經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū),注冊資本2000萬元,是國家高新技術(shù)企業(yè)、廣東省專精特新企業(yè)及廣東省創(chuàng)新型中小企業(yè)。

    ? 質(zhì)量體系:通過ISO9001:2008認證,嚴格執(zhí)行8S現(xiàn)場管理,原材料源自美國、德國、日本等國,確保產(chǎn)品穩(wěn)定性。

    ? 市場布局:產(chǎn)品遠銷全球,與世界500強企業(yè)及多家電子加工企業(yè)建立長期合作關(guān)系,覆蓋集成電路、顯示面板、先進封裝等領(lǐng)域。


    吉田產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同與政策紅利。江蘇3微米光刻膠品牌

     企業(yè)優(yōu)勢

    ? 研發(fā)能力:擁有多項專利證書,自主研發(fā)芯片光刻膠、納米壓印光刻膠等產(chǎn)品,配備全自動化生產(chǎn)設(shè)備,具備從材料合成到成品制造的全流程能力。

    ? 產(chǎn)能與品控:采用進口原材料和嚴格制程管控,確保金屬雜質(zhì)含量低于行業(yè)標準(如半導體光刻膠金屬雜質(zhì)<5ppb),良率達99%以上。

    吉田公司以無鹵無鉛配方與低 VOC 工藝打造光刻膠。珠海進口光刻膠國產(chǎn)廠商

     感光機制

    ? 重氮型(雙液型):需混合光敏劑(如二疊氮二苯乙烯二磺酸鈉),曝光后通過交聯(lián)反應固化,適用于精細圖案(如PCB電路線寬≤0.15mm)。

    ? SBQ型(單液型):預混光敏劑,無需調(diào)配,感光度高(曝光時間縮短30%),適合快速制版(如服裝印花)。

    ? 環(huán)保型:采用無鉻配方(如CN10243143A),通過多元固化體系(熱固化+光固化)實現(xiàn)12-15mJ/cm2快速曝光,分辨率達2μm,符合歐盟REACH標準。

     功能細分

    ? 耐溶劑型:如日本村上AD20,耐酒精、甲苯等溶劑,適用于電子油墨印刷。

    ? 耐水型:如瑞士科特1711,抗水性強,適合紡織品水性漿料。

    ? 厚版型:如德國K?ppen厚版膠,單次涂布可達50μm,用于立體印刷。


    典型應用場景:

    ? PCB制造:使用360目尼龍網(wǎng)+重氮感光膠,配合LED曝光(405nm波長),實現(xiàn)0.15mm線寬,耐酸性蝕刻液。

    ? 紡織印花:圓網(wǎng)制版采用9806A型感光膠,涂布厚度20μm,耐堿性染料色漿,耐印率超10萬次。

    ? 包裝印刷:柔版制版選用杜邦賽麗® Lightning LFH版材,UV-LED曝光+無溶劑工藝,碳排放降低40%。
    珠海進口光刻膠國產(chǎn)廠商

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