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上海泰晟與您分享半導(dǎo)體行業(yè)用FM4910認(rèn)證PVC
泰晟供三菱PVC板與您分享CVD設(shè)備在半導(dǎo)體中的應(yīng)用
化學(xué)氣相沉積（CVD）是利用氣相化合物或含有薄膜元素的簡(jiǎn)單物質(zhì)在基體表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)形成薄膜涂層的技術(shù)。化學(xué)氣相沉積（CVD）是制備高性能薄膜的一項(xiàng)重要技術(shù)，它具有均勻性好、薄膜覆蓋率高、薄膜質(zhì)量好、涂層純度可控、混合涂層、基體復(fù)雜、涂層粉末、大氣壓或真空條件等特點(diǎn)，而低溫合成化學(xué)氣相沉積（CVD）技術(shù)的材料可以是氣相化合物或單質(zhì)，也可以是幾種氣相化合物或單質(zhì)混合物。常見(jiàn)的材料主要有金屬、合金、碳化物、硅化物、氮化物、氧化物、硫化物、硼化物等。有很多種材料可以使用?；瘜W(xué)氣相沉積技術(shù)可廣闊應(yīng)用于集成電路、半導(dǎo)離體、金屬精煉、光伏電池、高科技陶瓷等制造領(lǐng)域，其中集成電路和半導(dǎo)體是主要的應(yīng)用領(lǐng)域，化學(xué)氣相沉積可分為大氣壓化學(xué)氣相沉積（APCVD）、亞大氣壓化學(xué)氣相沉積（sacvd）、低壓化學(xué)氣相沉積（LPCVD）、超高真空化學(xué)氣相沉積（uhcvd）、快速熱化學(xué)氣相沉積（RTCVD）、等子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）、高密度等離子體化學(xué)氣相沉積（HDPCVD）、金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積（MOCVD）等，PECVD是應(yīng)用非常廣的化學(xué)氣相沉積技術(shù)，在成膜速度、臺(tái)階覆蓋率、間隙填充、溫度要求等方面綜合性能突出，隨著我國(guó)集成電路和半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展，其市場(chǎng)占比達(dá)到36%左右，規(guī)模在擴(kuò)大，技術(shù)在進(jìn)步。薄膜沉積相關(guān)設(shè)備的需求正在迅速增長(zhǎng)?；瘜W(xué)氣相沉積是集成電路和半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用非常廣闊的薄膜沉積技術(shù)。因此，我國(guó)對(duì)CVD設(shè)備的需求正在迅速上升。在此背景下，我國(guó)CVD裝備制造企業(yè)開(kāi)始增多，代表性企業(yè)主要有北華創(chuàng)、沈陽(yáng)拓景、捷佳偉創(chuàng)、無(wú)錫松宇等，我國(guó)CVD裝備產(chǎn)業(yè)技術(shù)實(shí)力薄弱，市場(chǎng)占比低，而外資企業(yè)占據(jù)主導(dǎo)地位。
業(yè)內(nèi)人士分析，隨著物聯(lián)網(wǎng)、人工智能、工業(yè)自動(dòng)化的日益普及，我國(guó)集成電路、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)仍在蓬勃發(fā)展，對(duì)化學(xué)氣相沉積技術(shù)的需求將繼續(xù)增長(zhǎng)。CVD設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展前景良好?，F(xiàn)階段，我國(guó)CVD設(shè)備市場(chǎng)主要被國(guó)外企業(yè)占領(lǐng)。在未來(lái)的發(fā)展中，我國(guó)企業(yè)需要不斷提高自己的競(jìng)爭(zhēng)力，以實(shí)現(xiàn)本土化替代。
上海泰晟所供三菱PVC板除了在CVD設(shè)備上的應(yīng)用外，其他應(yīng)用場(chǎng)景為：
半導(dǎo)體液晶制造設(shè)備：氣流室、自動(dòng)化潔凈設(shè)備、晶圓處理設(shè)備、石英管潔凈設(shè)備、計(jì)量器面板等；無(wú)塵室設(shè)備：各種窺視窗材、門(mén)材、無(wú)塵室隔墻、無(wú)塵洞、隔板、風(fēng)道等；
電鍍?cè)O(shè)備：金屬電解槽、電鍍槽、滾鍍、酸洗凈槽、腐蝕液業(yè)槽、廢液處理槽、槽襯、排氣處理設(shè)備、化骨工風(fēng)機(jī)、泵、中和槽、滌氣機(jī)等；礦業(yè)、化工設(shè)備：反響吸收設(shè)備、稀土萃取槽、電解槽、貯藏槽、廢液處理設(shè)備、機(jī)器外罩等；
腐蝕設(shè)備：無(wú)菌灌裝設(shè)備視窗、腐蝕設(shè)備圍欄、腐蝕槽等；
工業(yè)容器：腸衣槽、水槽、化工用立式/臥式儲(chǔ)罐等；
PCB設(shè)備：蝕刻機(jī)、火山灰磨板機(jī)、脫模烘干機(jī)等；
自動(dòng)化設(shè)備：硅片清洗機(jī)、電子玻璃清洗機(jī)；
印刷行業(yè)：廣告絲印、警示牌及其他標(biāo)志背板等；
關(guān)于三菱PVC板詳情請(qǐng)咨詢(xún)上海泰晟電子科技發(fā)展有限公司，咨詢(xún)熱線(xiàn)：021-55668002/13391360977.
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