涂膠顯影機(jī)是一種用于印刷電路板(PCB)制造過程中的設(shè)備,主要用于涂覆光敏膠(光刻膠)和顯影處理。這種設(shè)備在PCB生產(chǎn)中起著關(guān)鍵作用,確保電路圖案的精確轉(zhuǎn)移和顯現(xiàn)。涂膠顯影機(jī)的主要功能:涂膠:將光敏膠均勻涂覆在PCB基板上,確保膠層的厚度和均勻性,以便后續(xù)的曝光和顯影過程。顯影:通過化學(xué)處理去除未曝光的光敏膠,顯現(xiàn)出電路圖案。顯影過程需要控制時(shí)間和溫度,以確保圖案的清晰度和準(zhǔn)確性。干燥:在涂膠和顯影后,通常需要對(duì)PCB進(jìn)行干燥,以去除多余的溶劑,確保膠層的穩(wěn)定性。保證顯影液循環(huán)、膠液循環(huán)、水循環(huán)順暢,無堵塞;江蘇優(yōu)勢(shì)涂膠顯影機(jī)廠家直銷
3)磁穗刮板:磁穗刮板控制顯影套筒(磁輥)輸送的顯影劑的量,這樣顯影劑磁穗將與感光鼓表面恰當(dāng)接觸。4)攪拌輪:顯影劑混合時(shí)會(huì)產(chǎn)生墨粉和載體的摩擦。因?yàn)檩d體充上正電荷,而墨粉會(huì)充上負(fù)電荷,從而通過摩擦產(chǎn)生的靜電會(huì)將充電的載體和墨粉依附在鼓表面。5)ATDC(磁通密度傳感器/自動(dòng)墨粉傳感器):顯影劑中的載體與墨粉(即墨粉濃度)應(yīng)保持固定的比例,從而才能打印出正常的圖像。ATDC通過磁橋電路檢測(cè)顯影劑中的墨粉的比率。當(dāng)傳感器探測(cè)到墨粉量不足時(shí),它會(huì)驅(qū)動(dòng)墨粉電機(jī)從墨粉盒中添加新粉。梁溪區(qū)標(biāo)準(zhǔn)涂膠顯影機(jī)供應(yīng)商用手感覺水壓,有力,保證水洗充分。
顯影劑是使鹵素銀還原出銀的藥物,**常用的是米吐爾和海多吉濃兩種。但在水中極易氧化,在使用上應(yīng)與其它藥物作配合。米吐爾又名依侖,學(xué)名硫酸甲基對(duì)氨基苯酚。它是白色或微帶灰色的針狀或粉末結(jié)晶,在10℃時(shí),每100毫升水中可溶解4.8克。它很難溶于亞硫酸水溶液中,它是一種顯像力很強(qiáng)的軟性顯影劑。顯像時(shí)出像很快,當(dāng)顯影液作用強(qiáng)時(shí),它在顯影液中2~3秒鐘即可出像,它的主要特點(diǎn)就是能使影像暗部與強(qiáng)光部分同時(shí)出像,但是底片上的明暗或黑白差別的程度小,即反差小。配成顯影液和亞硫酸共存時(shí)保存性能好,對(duì)溴化鉀溫度反應(yīng)較小,它和海多吉濃在同程度上對(duì)比,不易污染底片。
涂膠顯影機(jī)通常集成了增粘、旋涂、顯影、加熱等功能模塊,能夠處理各種襯底材料和光刻膠。這些功能模塊協(xié)同工作,確保了光刻工藝的高效和精確。三、設(shè)備特點(diǎn)堆疊式高產(chǎn)能架構(gòu):一些先進(jìn)的涂膠顯影機(jī)采用堆疊式設(shè)計(jì),提高了生產(chǎn)效率,同時(shí)占地面積相對(duì)較小。自動(dòng)化程度高:可以與光刻機(jī)聯(lián)機(jī)作業(yè),滿足工廠自動(dòng)化生產(chǎn)的需求。多腔體共用供膠系統(tǒng):配備多段回吸的多腔體共用供膠系統(tǒng),有效節(jié)省光刻膠的用量。高精度部件:可選配高精度熱板、WEE、AOI等單元部件,以滿足更高標(biāo)準(zhǔn)的工藝需求。同時(shí)具備二次水洗功能。
進(jìn)行顯影的方式有很多種,***使用的方法是噴灑方法。這種顯影方式可以分為三個(gè)階段:硅片被置于旋轉(zhuǎn)臺(tái) [2]上,并且在硅片表面上噴灑顯影液;然后硅片將在靜止的狀態(tài)下進(jìn)行顯影;顯影完成后,需要經(jīng)過漂洗,之后再烘干。顯影后留下的光刻膠圖形將在后續(xù)的刻蝕和離子注入工藝中作為掩模,因此,顯影是一步重要的工藝。嚴(yán)格的說,在顯影時(shí)曝光區(qū)和非曝光區(qū)的光刻膠都有不同程度的溶解。曝光區(qū)與非曝光區(qū)的光刻膠溶解速度反差越大,顯影后得到的圖形對(duì)比度越高。涂膠系統(tǒng)主要功能是在顯影后的版面上涂上一層均勻的保護(hù)膠。錫山區(qū)質(zhì)量涂膠顯影機(jī)推薦廠家
藥液自動(dòng)循環(huán)過濾,保證各處藥液濃度和溫度均勻一致。江蘇優(yōu)勢(shì)涂膠顯影機(jī)廠家直銷
勻膠顯影機(jī)是完成除曝光以外的所有光刻工藝的設(shè)備,包括光刻材料的涂布、烘烤、顯影、晶圓背面的清洗以及用于浸沒式工藝的晶圓表面的去離子水沖洗等。勻膠顯影機(jī)一般由四部分組成。***部分是晶圓盒工作站(wafer cassette station),晶圓盒在這里裝載到機(jī)器上。機(jī)械手(robot arm)從晶圓盒中把晶圓抽出來,傳送到工藝處理部分(process block),即第二部分。工藝處理部分是勻膠顯影機(jī)的主體,增粘模塊(adhesion enhancement)、熱盤(hot plate)、冷盤(chill plate)、旋涂、顯影等主要工藝單元都安裝在這里,一個(gè)或兩個(gè)機(jī)械手在各單元之間傳遞晶圓。第三部分是為浸沒式光刻工藝配套的單元,包括晶圓表面水沖洗單元、背清洗單元等。第四部分是和光刻機(jī)聯(lián)機(jī)的接口界面(interface),包括暫時(shí)儲(chǔ)存晶圓的緩沖盒(buffer)、晶圓邊緣曝光(wafer edge exposure,WEE)和光刻機(jī)交換晶圓的接口等。 [1]江蘇優(yōu)勢(shì)涂膠顯影機(jī)廠家直銷
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