在我國,凈化車間技術(shù)起始于上世紀(jì)60年代。當(dāng)時,凈化車間技術(shù)是為滿足精密儀器、航空儀表及電子行業(yè)的產(chǎn)品質(zhì)量需求,滿足這些行業(yè)的加工和實驗研究的精密化、微型化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性而誕生的一門新興技術(shù)?,F(xiàn)在,凈化車間技術(shù)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于電子、制藥、醫(yī)療衛(wèi)生、生物工程、實驗室、食品、化妝品和儀器儀表、航空航天等多種產(chǎn)業(yè)。建設(shè)電子廠凈化車間有何重要意義呢?在應(yīng)用凈化車間技術(shù)的相關(guān)行業(yè)中,電子行業(yè)對潔凈及相關(guān)受控環(huán)境依賴性相當(dāng)大,潔凈技術(shù)在電子行業(yè)應(yīng)用約占整個潔凈行業(yè)市場的67%。在我國,電子行業(yè)每年花費在潔凈室方面的費用約為50億元,其中,以集成電路芯片生產(chǎn)線為的微電子行業(yè)每年約30億元。另外,平板顯示(FPD)產(chǎn)業(yè)作為支撐我國電子信息產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè),也是電子廠凈化車間的重要用戶。據(jù)調(diào)查,世界上面積相當(dāng)大的潔凈室即應(yīng)用于平板顯示行業(yè),一個單體的凈化車間廠房面積可容納32架飛機。凈化車間技術(shù)對我國電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展意義重大,因為它與產(chǎn)品的成品率有著直接關(guān)系。電子行業(yè)對生產(chǎn)環(huán)境的要求非常高,特別是對直徑小于1微米的顆粒特別敏感,因為它們能引起金屬層之間的短路。因此建設(shè)電子廠凈化車間是非常有必要的。凈化車間的凈化方式有哪些?四川空氣凈化車間用途
車間凈化空氣凈化方式:車間凈化物理式凈化方式1.吸附性過濾—活性炭活性炭是一種多孔性的含炭物質(zhì),它具有高度發(fā)達(dá)的孔隙構(gòu)造,活性炭的多孔結(jié)構(gòu)為其提供了大量的表面積,能與氣體(雜質(zhì))充分接觸,從而賦予了活性炭所特有的吸附性能,使其非常容易達(dá)到吸收收集雜質(zhì)的目的。就象磁力一樣,所有的分子之間都具有相互引力缺點:普通活性炭并不能吸附所以的氣體,效率較低、易脫附。2.機械性過濾—HEPA網(wǎng)HEPA(HighefficiencyparticulateairFilter),中文意思為高效空氣過濾器,達(dá)到HEPA標(biāo)準(zhǔn)的過濾網(wǎng),對于,HEPA網(wǎng)的特點是空氣可以通過,但細(xì)小的微粒卻無法通過。HEPA過濾網(wǎng)由一疊連續(xù)前后折疊的亞玻璃纖維膜構(gòu)成,形成波浪狀墊片用來放置和支撐過濾界質(zhì)。車間凈化靜電凈化方式工作原理:采用高壓靜電吸附除塵工作原理。靜電式是采用高壓靜電吸附除塵的工作原理。靜電場中的陰極線在高壓靜電的作用下,產(chǎn)生電暈放電,電暈層中產(chǎn)生大量的負(fù)離子,負(fù)離子在靜電場的作用下,不斷地向陽極運動。當(dāng)空氣中粉塵通過電場時,粉塵受到負(fù)離子的碰撞帶上電荷,帶上電荷后的粉塵同樣受到靜電場的作用,向陽極(集塵極)運動,到達(dá)陽極后釋放電荷。缺點:可去除飄塵(不能去除氣體)。云南空氣凈化車間改造凈化車間在社會上的重要性。
4.濾器與送風(fēng)管道之間應(yīng)軟連接并安裝有調(diào)節(jié)閥。5.濾器與天花板之間連接牢固、密封嚴(yán)密。在各個部件和設(shè)備安裝前應(yīng)進(jìn)行檢查并填寫設(shè)備開箱檢查記錄(附表2),風(fēng)管在安裝前應(yīng)進(jìn)行吹洗脫脂以保證風(fēng)管的清潔。清洗完畢后應(yīng)填寫管道系統(tǒng)吹洗(脫脂)記錄(附表4),送風(fēng)、回風(fēng)管道安裝完畢后,應(yīng)采用200W燈光進(jìn)行檢漏,驗證接口是否密封無漏氣。檢驗完畢后,應(yīng)填寫風(fēng)管漏風(fēng)檢查記錄(附表5)。在凈化空調(diào)系統(tǒng)全部設(shè)備和部件安裝施工完畢后,應(yīng)對凈化空調(diào)系統(tǒng)進(jìn)行中間工程驗收,驗收包括:結(jié)構(gòu)部分、通風(fēng)部分和電氣部分。驗收完畢后填寫中間驗收單(附表1)。a.空調(diào)凈化機組的運行確認(rèn)空調(diào)機組及風(fēng)管安裝完畢,經(jīng)檢查確認(rèn)符合要求后,按照操作說明開啟空調(diào)系統(tǒng)進(jìn)行運行。檢查內(nèi)容包括:電源自控系統(tǒng):應(yīng)啟動關(guān)閉正常、控制靈敏;送回風(fēng)管道:連接符合規(guī)定,送風(fēng)管道閥門調(diào)控正常。輸送風(fēng)機:能正常運行、無異常振動;箱體:密封嚴(yán)密,不泄漏。檢查完畢后應(yīng)填寫設(shè)備單機試運轉(zhuǎn)記錄(附表6)。b.凈化空氣輸送管道的運行確認(rèn)檢查內(nèi)容:氣密性:不泄漏;終端風(fēng)閥:可調(diào)節(jié)、關(guān)閉嚴(yán)密。檢查完畢后應(yīng)填寫:凈化空調(diào)系統(tǒng)聯(lián)合試運轉(zhuǎn)記錄(附表7)10萬級凈化車間標(biāo)準(zhǔn)。
區(qū))懸浮粒子的測試方法》GB/T16294《醫(yī)藥工業(yè)潔凈室(區(qū))沉降菌的測試方法》4.驗證所需文件及記錄1公司總平面環(huán)境布置圖2十萬級凈化車間平面圖3風(fēng)管的平面圖4送、回風(fēng)口的平面圖5排風(fēng)管平面圖6空氣過濾器分布圖7燈具平面圖8空調(diào)機組使用說明書9凈化車間工程驗收報告10潔凈區(qū)環(huán)境監(jiān)測記錄11第三方環(huán)境監(jiān)測報告12潔凈車間管理制度5驗證方法和步驟溫濕度表熱球風(fēng)速計壓差表塵埃粒子計數(shù)器手提式不銹鋼壓力蒸汽滅菌器恒溫培養(yǎng)箱以上器具設(shè)配需功能完好,需檢定的應(yīng)具有有效的檢定證書。a)凈化車間的內(nèi)墻表面是否平整,光滑,無顆粒脫落,能耐受清洗和消毒。交接處是采用圓弧裝飾。b)凈化車間地面應(yīng)平整、無裂縫、無缺點、易清洗。c)安全門的密封性,緊急時易于打開,安全通道應(yīng)無障礙。d)凈化車間的頂棚及進(jìn)入潔凈區(qū)的管道,風(fēng)口與墻壁或頂棚的部位應(yīng)密封良好。凈化車間的門閉合時應(yīng)完全密封,并向潔凈度高的方向開啟。、照明設(shè)施要求a)供電系統(tǒng)線路、配電柜、插座等電氣設(shè)備符合安裝要求。b)供電線路采用暗敷鋪設(shè)。電氣管線管口,安裝于墻上的各種電氣設(shè)備與墻體接縫處應(yīng)可靠密封。c)照明燈具應(yīng)外部造型簡單,不易積塵,便于擦拭。照明燈具采用吸頂安裝。凈化車間里的家具和設(shè)備應(yīng)根據(jù)工作需求進(jìn)行設(shè)計和定制,以滿足高度潔凈的要求。
新風(fēng)補充量:總送風(fēng)量的20%-30%;照度:≥300Lux。10萬級無塵凈化車間工作環(huán)境規(guī)定10萬級無塵車間對溫度、濕度無特殊要求時,以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜,溫度一般控制在冬季20~22℃;夏季24~26℃;波動±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%,夏季潔凈車間濕度控制在50-70%。配電:潔凈室(區(qū))的主要生產(chǎn)用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。室內(nèi)空氣參數(shù)需求1、新風(fēng)量大。由于這類車間內(nèi),人員比較多,能夠依據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的最大值:非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%;補償室內(nèi)排風(fēng)和堅持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;確保室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量≥40m3/h。2、溫濕度需求:溫度通常為24+2度,相對濕度為55+5%3、送風(fēng)量大。為了滿意無塵車間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡,需求較大的送風(fēng)量,就300平方米的車間,吊頂高度為,如果是萬級,送風(fēng)量就需求300××30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù),是≥25次/h);如果是十萬級,送風(fēng)量就需求300××20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù),是≥15次/h)。10萬級電子車間結(jié)構(gòu)材料要求:1、潔凈室墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化專門使用的氧化鋁型材制造。凈化車間性能參數(shù),上海中湖為您服務(wù)。陜西凈化車間安裝
凈化車間能夠提供高度潔凈的環(huán)境,有效減少塵埃、細(xì)菌等污染物對實驗結(jié)果的影響,保證產(chǎn)品質(zhì)量和可靠性。四川空氣凈化車間用途
3、靜壓差不同級別的潔凈室與非潔凈室之間不能小于5Pa,潔凈室與室外不能小于10Pa等等一系列要求??刂旗o壓差的方法,主要是供給一定的正壓風(fēng)量,設(shè)計常采用的正壓裝置為余壓閥、壓差式電動風(fēng)量調(diào)節(jié)器和回風(fēng)口處裝設(shè)空氣阻尼層。近年來,設(shè)計中常采用不設(shè)正壓裝置而在初調(diào)試中,使送風(fēng)量大于回風(fēng)量和排風(fēng)量的方式,并相應(yīng)配設(shè)自動控制系統(tǒng)也能達(dá)到同樣效果。4、氣流潔凈室的氣流形式是保證潔凈度級別的關(guān)鍵因素。SICOLAB目前設(shè)計中經(jīng)常采取的氣流形式是依據(jù)潔凈度級別來確定的。如30萬級的潔凈室常采用頂送頂回的方式,10萬級及1萬級的潔凈室設(shè)計通常采用上送下側(cè)回的氣流方式,則采用水平或垂直單向流的方式。5、溫濕度除特殊工藝外,從采暖通風(fēng)空調(diào)的角度講主要維持操作人員的舒適性,即適宜的溫濕度。另外,還有幾項指標(biāo)應(yīng)該引起我們的關(guān)注,如風(fēng)口風(fēng)管的截面風(fēng)速,噪聲再有風(fēng)口風(fēng)管截面風(fēng)速、噪聲、照度及新風(fēng)量的比例等等,在設(shè)計中不能忽視這幾方面的考慮。四川空氣凈化車間用途