表％九氟丁基甲基醚和50重量％甲基四氫呋喃的液體混合物的分餾顯示出92重量％九氟丁基甲基醚和8重量％甲基四氫呋喃的共沸組合物，其在°C的沸點。實施例2如實施例1所述進行沸點測定方法。表II給出九氟丁基乙基醚和甲基四氫呋喃的各種混合物在。表II九氟丁基乙基醚的重量％甲基四氫呋喃的重量％(°C)％九氟丁基乙基醚和50重量％甲基四氫呋喃的液體混合物的分餾顯示出％九氟丁基乙基醚和％甲基四氫呋喃的共沸組合物，其在°C的沸點。清洗試驗的總體過程首先，用FORANE141b對2X5cm的不銹鋼片材進行脫脂。這些片材各自在測試之前稱重，其構(gòu)成皮重。然后，在這些片材的單側(cè)上涂布油REDUCTELFSP460。對該涂布有油的片材進行稱重，并由與皮重的差值推算出涂布的油的量。接下來，將該涂布有油的片材浸5入到含有100ml待評價組合物的燒杯中5分鐘，不進行攪拌且無超聲。該片材一移出，就在通風的情況下進行15分鐘的滴干(dripdry)，并且，在該15分鐘結(jié)束時，通過稱重測定油的殘留量。與油的初始量相比，計算移除的油的百分數(shù)。實施例3在使用九氟丁基甲基醚的組合物的情況下，得到0%的油移除率。實施例4在使用包含8重量％的2-MeTHF和92重量％的九氟丁基甲基醚的組合物的情況下。BOE蝕刻液適用于什么半導體什么制程；山東技術(shù)密集BOE蝕刻液價格

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